概述  
      SM5420 是一個(gè)小外型SO-8封 裝的不帶溫度補(bǔ)償壓力傳感器，該傳 感器使用SMI 公司經(jīng)過(guò)優(yōu)化的硅微 結(jié)構(gòu)的SM5108 晶圓，并能為如此小 的壓力傳感器提供比較高的精確度。 這種*性能通過(guò)細(xì)微電阻安裝和 微機(jī)械配置以及*的MEMS 加工 技術(shù)而得。 
     這種傳感器是為大批量使用而 價(jià)格又成為關(guān)鍵因素的客戶而設(shè)計(jì)， 如胎壓計(jì)或者是輪胎氣壓監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。 SM5420 為絕壓類型的壓力傳感器， 滿量程范圍15psi30psi60psi100psi, 是基于大批量使用陶瓷基板或者是印刷電路板的制造商而設(shè)計(jì)。
       可以選用帶端口的配置或者帶孔配置，讓進(jìn)氣通過(guò)端口上方或者壓力 源的正向定位用于感應(yīng)一般環(huán)境壓力或者與O 形的密封圈一起使用。該端口方向 已選定以zui小化因惡劣環(huán)境中附加的*依賴而造成的壓力脈沖直接沖擊壓力晶 圓正面的幾率。該器件對(duì)帶有凝膠的作為標(biāo)準(zhǔn)，大量訂購(gòu)該器件并需要zui大化穩(wěn) 定性的可以不帶凝膠，比如在氣壓站、氣象站的傳感應(yīng)用。

性能參數(shù)
所有參數(shù)在室溫25℃，5V直流恒壓源供電的條件下測(cè)量而得，除非另外規(guī)定。
                                    zui小值    典型值    zui大值    單位
激勵(lì)電壓源 DC                  0          5.0       10         V
激勵(lì)電流源 DC                  0         1.0        1.6      mA
滿量程輸出 PSI （kPa ）
                 15  （103）   95        127      160      mV 
                 30  （207）   65       100       135      mV 
                 6 0 （414）   65       100       135      mV 
                100 （689）   65       100       135      mV 
零點(diǎn)輸出                         -35                     35      mV
滿量程溫度系數(shù)                -24        -19     -15.5     %FS/100℃
零點(diǎn)溫度系數(shù)                    -7         -1        +7        %FS/100℃
電阻溫度系數(shù)                    +24     +27.5   +33      %/100℃
壓力線性度（非線性誤差）  -0.20   -0.07    +0.20   %FS
橋臂阻抗                           4           5           6        k Ω
輸入電容        <2        pF
耐壓               3ⅹ      Rated FS
爆破壓力        5 ⅹ      Rated FS
工作溫度        -40       +125  ℃
存儲(chǔ)溫度        -40       +150  ℃

注意：
1、電橋可以被正電壓或者負(fù)電壓激勵(lì)；正輸出適用在正電壓激勵(lì)正壓力加載在晶圓上
2、在5V恒定電壓激勵(lì)下測(cè)量
3、測(cè)量從0 到70℃ 
4、*直線擬合