CYG500系列微型、薄型動態(tài)壓力傳感器

一、CYG502型超微型壓力傳感器（絕壓）

標(biāo)稱尺寸外徑2mm的超微型壓力傳感器CYG502是專為流體力學(xué)實驗中要求更小安裝尺寸的用途而設(shè)計的。是目前我公司推出產(chǎn)品中尺寸zui小的壓力傳感器。

CYG502的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技術(shù)設(shè)計與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度。離子注入、精細光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度*性使其具有很小的溫度漂移。采用硅硅直接鍵合技術(shù)、倒V型槽設(shè)計、從而實現(xiàn)了可利用芯片薄膜尺寸的*化，為超微型傳感器的實現(xiàn)取得關(guān)鍵突破。

使用了硅–硅鍵合技術(shù)，改善了熱匹配效果，減少了應(yīng)力帶來的零位不穩(wěn)定性。

目前已面市品種有絕壓型測量模式產(chǎn)品，表壓型正在研制中。

二、CYG503型微型壓力傳感器（絕壓、表壓）

標(biāo)稱尺寸外徑3mm的微型壓力傳感器CYG503是專為空氣動力學(xué)研究試驗中，要求安裝尺寸小，不擾動流場，動態(tài)響應(yīng)優(yōu)良動態(tài)壓力分布測量而設(shè)計的。應(yīng)用于如發(fā)動機進氣道壓力畸變、喘振等的空氣動力學(xué)性能測定, 敏感元件的固有頻率＞200kHz。

CYG503的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技術(shù)設(shè)計與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度、離子注入、精細光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度*性使其具有很小的溫度漂移、體微機械加工，精密各向異性腐蝕形成的硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)使其具有很高的壓力靈敏度和小至1.5mm以下的徑向尺度。*的微型化的壓力敏感芯片采用無應(yīng)力封裝技術(shù)，密封封裝在特制的微型安裝基座和不銹鋼毛細管中。絕壓型傳感器參考壓力腔是芯片背面密封的真空腔，表壓型傳感器的參考壓力腔是通過一根更細的不銹鋼毛細管從背面引出與大氣溝通。也為了方便用戶為取得穩(wěn)定的壓力參考而用細尼龍管將它引至氣壓穩(wěn)定處。

三、CYG504型微型低壓力傳感器（絕壓、表壓）

標(biāo)稱尺寸外徑4mm的微型壓力傳感器CYG504是專為空氣動力學(xué)研究試驗中，要求測量量程低，安裝尺寸小，不擾動流場，動態(tài)響應(yīng)優(yōu)良動態(tài)壓力分布測量而設(shè)計的。應(yīng)用于如風(fēng)洞中正空度脈動測量、中低速風(fēng)洞空氣動力學(xué)性能測定等。

四、CYG505型微型壓力傳感器（絕壓、表壓）

標(biāo)稱尺寸外徑Φ5mm的微型表壓力傳感器CYG505及其衍生的螺紋安裝型品種CYG506是專為水流動力學(xué)研究。縮模實驗要求的外形尺寸小，對流場擾動小，量程低、靈敏度高，動態(tài)頻響好而專門設(shè)計的微型低量程脈動壓力傳感器。

CYG505的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技術(shù)設(shè)計與制造、三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度、離子注入、精細光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度*性使其具有很小的溫度漂移。用CAD輔助的有限元分析基礎(chǔ)上的*力學(xué)構(gòu)件設(shè)計、版圖布局設(shè)計、加上精密的各向異性腐蝕，解決了低量程下線性度和輸出靈敏度的矛盾。小至2mm徑向尺度的微型芯片，具有低達20KPa的量程和優(yōu)秀的線性度，滿足了水工縮模測量的精度與靈敏度要求。

CYG505采用了敏感元件背面承壓的工作模式，因此它可以用于導(dǎo)電性的水及其它液體介質(zhì)。有特殊腐蝕性或溶滲性的介質(zhì)訂貨時請與廠家協(xié)商。

為了防止使用安裝處偶然浸水造成表壓傳感器的失效，CYG505在尾端出線處采用了PVC導(dǎo)管作為通氣及防水保護，微型電纜從PVC管中孔內(nèi)引出。由于工藝難度，PVC管的zui大長度限制為7m，對于超過7m長度或不方便套管的可也選用Φ3mm雙屏蔽導(dǎo)氣電纜。

五、CYG506型微型微壓傳感器（表壓）

標(biāo)稱尺寸外徑6mm的微型微壓傳感器是專為空氣動力學(xué)研究流場分布設(shè)計的，它特別適用于模型尺寸較厚或模型中空的實驗工況。傳統(tǒng)的用毛細管引出壓力用掃描閥巡測的方式，因毛細管頻響的損失而測得的為穩(wěn)態(tài)流場分布?，F(xiàn)場直接布置微型傳感器的方法可獲得精確的動態(tài)流場分布。

CYG506的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計與制造。采用CAD技術(shù)的力敏結(jié)構(gòu)與版圖設(shè)計優(yōu)化了力學(xué)模型、雙島膜結(jié)構(gòu)（低微壓）和梁膜島復(fù)合結(jié)構(gòu)（超微壓）使得壓力敏感元件實現(xiàn)了低量程、高靈敏度和優(yōu)良線性度的統(tǒng)一兼得，應(yīng)力互補設(shè)計和無應(yīng)力微封裝技術(shù)實現(xiàn)了量程下的良好穩(wěn)定性。

CYG506為表差壓型，有探針型和螺紋安裝式兩種外形。外徑為Φ6mm，長度均為22mm，螺紋型的螺紋為M8×1。外形見附圖。

CYG506采用敏感元件反面承壓，因此它有優(yōu)良的介質(zhì)兼容性。CYG506采用準(zhǔn)齊平微管腔的封裝設(shè)計，因此有優(yōu)良的動態(tài)特性，可用頻率即使是zui低量程1KPa的品種可達20千赫茲以上。

六、CYG507型微型中/低壓傳感器（表壓、密封表壓）

標(biāo)稱尺寸外徑Φ5.5mm的園柱形微型中壓傳感器CYG507原是為創(chuàng)傷醫(yī)學(xué)，埋植測量高頻動態(tài)高壓設(shè)計的，是高頻動態(tài)壓力傳感器CYG401、CYG406中低壓段的微型化封裝產(chǎn)品。也可用于小容積體內(nèi)爆燃高壓、石油勘采壓裂測井等要求小尺寸安裝的動態(tài)高壓測試用途。

CYG507的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計與制造，采用了背面齊平承壓、無管腔封裝等一系列已獲得*的技術(shù)。因而具有高達數(shù)百千赫茲的固有頻率，快至亞微妙的上升時間，確保了高頻動態(tài)壓力測試的要求。小的封裝外形尺寸滿足了特殊環(huán)境條件的要求。

CYG507微型中壓傳感器為表壓或密封表壓模式，其外形有標(biāo)準(zhǔn)的Φ5.5mm小園柱形及衍生的螺紋安裝型（標(biāo)準(zhǔn)螺紋為M8*1,部份量程zui小可訂制M6*0.75），詳見外形圖。

五、CYG508型微型高壓傳感器（表壓）

標(biāo)稱尺寸外徑Φ8mm的園柱形微型高壓傳感器CYG508原是為創(chuàng)傷醫(yī)學(xué)，埋植測量高頻動態(tài)高壓設(shè)計的，是高頻動態(tài)壓力傳感器CYG401的微型化封裝產(chǎn)品。也可用于小容積體內(nèi)爆燃高壓、石油勘采壓裂測井等要求小尺寸安裝的動態(tài)高壓測試用途。

CYG508的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計與制造，采用了背面齊平承壓、無管腔封裝等一系列已獲得*的技術(shù)。因而具有高達數(shù)百千赫茲的固有頻率，快至亞微妙的上升時間，確保了高頻動態(tài)壓力測試的要求。小的封裝外形尺寸滿足了特殊環(huán)境條件的要求。

CYG508微型高壓傳感器為表壓（2MPa以下時）或密封表壓（2MPa以上時）模式，其外形有標(biāo)準(zhǔn)的小園柱形及衍生的螺紋安裝型（標(biāo)準(zhǔn)螺紋為M10*1），詳見外形圖。（CYG508LP外徑Φ10mm, 標(biāo)準(zhǔn)螺紋為M12*1）

六、CYG511型薄形壓力傳感器（絕壓）

CYG511型薄形壓力傳感器是專為空氣動力學(xué)研究中，風(fēng)洞中試驗?zāi)Ｐ捅砻鎵毫龇植荚O(shè)計的。它尤其適用于模型很薄，無法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將極薄的CYG511傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。CYG511的極薄的柔性引線可直接貼在模型表面上。因此它基本上不影響被測流場。

CYG511的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度、離子注入、精細光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度*性使其具有很小的溫度漂移、體微機械加工，精密各向異性腐蝕及硅硅直接鍵合技術(shù)使得硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)具有很高靈敏度，很優(yōu)良穩(wěn)定性，很優(yōu)良動態(tài)性能的同時具有超薄的厚度。它綜合力敏結(jié)構(gòu)與襯底加固結(jié)構(gòu)的總厚度僅為0.6mm，更有利于獲得更薄zui終尺寸的薄形傳感器。

七、CYG512型超薄形壓力傳感器（絕壓）

CYG512型薄形壓力傳感器是專為空氣動力學(xué)研究中，風(fēng)洞中超薄形模型上下表面壓力場分布設(shè)計的，是CYG511的改進型。尤其適用于縮模徑向尺寸較大，厚度很小，不能或不容易挖坑貼埋，只能貼于表面的工況設(shè)計的。1mm左右的厚度使其對流場的影響減小到很小的程度。（僅用于空氣中測量使用）

CYG512使用了CYG511同樣的*的硅硅直接鍵合的壓力敏芯片，具有很優(yōu)良的靜態(tài)力學(xué)特性。由于精密設(shè)計與加工的封裝結(jié)構(gòu)在將總厚度縮小到1mm左右的同時，也就大大減小了敏感元件與傳感器進壓殼體封裝空間的容積，將淺型管腔對動態(tài)頻響的影響減至zui小，因此它具有優(yōu)良的動態(tài)特性。

八、CYG513型薄形壓力傳感器（表壓）

CYG513型薄形壓力傳感器是專為空氣動力學(xué)研究中，風(fēng)洞中試驗?zāi)Ｐ捅砻鎵毫龇植荚O(shè)計的。它尤其適用于模型很薄，無法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將極薄的CYG513傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。CYG513的極薄的柔性引線可直接貼在模型表面上。因此它基本上不影響被測流場。（僅用于空氣中測量使用）

CYG513的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度、離子注入、精細光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度*性使其具有很小的溫度漂移、體微機械加工，精密各向異性腐蝕及硅-玻璃陽極鍵合技術(shù)使得硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)具有很高靈敏度，很優(yōu)良穩(wěn)定性，很優(yōu)良動態(tài)性能的同時具有較薄的厚度。綜合力敏結(jié)構(gòu)與襯底加固結(jié)構(gòu)的總厚度僅為0.9mm，有利于獲得較薄zui終尺寸的薄形傳感器。

九、CYG514型薄形壓力傳感器（絕壓）

CYG514型薄形壓力傳感器是專為空氣動力學(xué)研究中，風(fēng)洞中試驗?zāi)Ｐ捅砻鎵毫龇植荚O(shè)計的。它尤其適用于模型很薄，無法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將薄的CYG514傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝，因此它基本上不影響被測流場。

CYG514的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度、離子注入、精細光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度*性使其具有很小的溫度漂移、體微機械加工，精密各向異性腐蝕及硅硅直接鍵合技術(shù)使得硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)具有很高靈敏度，很優(yōu)良穩(wěn)定性，很優(yōu)良動態(tài)性能的同時具有超薄的厚度。它綜合力敏結(jié)構(gòu)與襯底加固結(jié)構(gòu)的總厚度僅為0.6mm，更有利于獲得更薄zui終尺寸的薄形傳感器。

CYG514外形為薄園扣式。標(biāo)稱直徑為ф11 mm，厚度為2.8 mm（帶出線護管型厚度為3mm），引出線為5芯屏蔽電纜，在電纜終點處接有用PCB板制成的電橋補償平衡器。

CYG514由于用敏感元件正面承壓，因此它適用于*無腐蝕性，不導(dǎo)電性的干燥氣體。它有相當(dāng)寬的工作溫區(qū)和非常優(yōu)良的動態(tài)頻響特性，可使用在低至零頻，高至數(shù)千赫茲頻帶。如果介質(zhì)因素復(fù)雜，含水量高，可使用復(fù)蓋有有機硅凝膠保護表面及電極的CYG514S，有機硅凝膠會有些降低其動態(tài)頻響性能。

采用薄膜有機材料覆蓋保護的產(chǎn)品CYG514P，由于保護膜厚度為um量級，因此對動態(tài)頻響損失較少，但特制周期較長及有較多的成本增加。

CYG515型薄形壓力傳感器（絕壓）

CYG515型薄形壓力傳感器是專為復(fù)雜環(huán)境下空氣動力學(xué)研究中，模型表面壓力場分布設(shè)計的。它尤其適用于模型很薄，無法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將CYG515傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。CYG515的超細電纜引線可直接貼在模型表面上。因此它基本上不影響被測流場。

CYG515的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度、離子注入、精細光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度*性使其具有很小的溫度漂移、體微機械加工，精密各向異性腐蝕及硅硅直接鍵合技術(shù)使得硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)具有很高靈敏度，很優(yōu)良穩(wěn)定性，很優(yōu)良動態(tài)性能的同時具有超薄的厚度。

CYG515外形為薄園扣式。1:標(biāo)稱直徑為ф11mm，厚度為3.2mm（帶出線護管型，線徑ф1.7mm）。 2:標(biāo)稱直徑為ф12 mm，厚度為4 mm（帶出線護管型，線徑ф2.2mm*）。3: 標(biāo)稱直徑為ф12 mm，厚度為5 mm（帶出線護管型，線徑ф2.5mm抗干擾*）。引出線為5芯屏蔽電纜，在電纜終點處接有內(nèi)代恒流源的電橋補償平衡器（尺寸ф12mm×25mm）。

CYG515由于用敏感元件背面承壓，因此它適用于無腐蝕性的氣液體測量。它有相當(dāng)寬的工作溫區(qū)和非常優(yōu)良的動態(tài)頻響特性，可使用在低至零頻，高至數(shù)千赫茲頻帶。如果介質(zhì)因素復(fù)雜：如水中或戶外露天等環(huán)境中使用。

CYG516型薄形壓力傳感器（表壓）

CYG516型薄形壓力傳感器是專為空氣動力學(xué)研究中，風(fēng)洞中試驗?zāi)Ｐ捅砻鎵毫龇植荚O(shè)計的。它尤其適用于模型很薄，無法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將極薄的CYG516傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。CYG516的Φ4mm超細導(dǎo)氣的電纜可直接貼在模型表面上（參考管可以與電纜分離，也可與電纜一體）。因此它基本上不影響被測流場,同時解決了參考拉力的引出。

CYG516的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度、離子注入、精細光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度*性使其具有很小的溫度漂移、體微機械加工，精密各向異性腐蝕及硅-玻璃陽極鍵合技術(shù)使得硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)具有很高靈敏度，很優(yōu)良穩(wěn)定性，很優(yōu)良動態(tài)性能的同時具有較薄的厚度。綜合力敏結(jié)構(gòu)與襯底加固結(jié)構(gòu)的總厚度僅為0.9mm，有利于獲得較薄zui終尺寸的薄形傳感器。

CYG522型薄形水工壓力傳感器（表壓、絕壓）

CYG522型薄形水工壓力傳感器是專為水動力學(xué)研究中，水洞、水槽中試驗?zāi)Ｐ捅砻鎵毫龇植荚O(shè)計的。它尤其適用于模型很薄，無法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將極薄的CYG522傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。CYG522的極細的電纜線（Φ1.8mm、Φ2.2mm、Φ2.5mm、Φ3mm）可直接貼在模型表面上。因此它基本上不影響被測流場。

CYG522的壓力敏感組件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計與制造

CYG571微型滲透水壓力傳感器（絕壓、表壓）

該產(chǎn)品力敏元件利用硅壓阻效應(yīng)，通過MEMS工藝及微封裝技術(shù)相結(jié)合制作而成，當(dāng)敏感元件感受到壓力作用時，將會輸出一個與壓力成正比變化的電壓信號。

該產(chǎn)品適用于小尺寸模型中非飽和以及飽和土體中滲透水壓測量，通常與動態(tài)土應(yīng)力傳感器配套使用。該產(chǎn)品具有微小的外型尺寸、較寬的量程范圍、優(yōu)異的靜態(tài)特性以及*的穩(wěn)定性，較常規(guī)滲透水壓力傳感器具有更高的靈敏度（可替代PDCR81）。