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K1050X 射頻等離子處理儀(等離子刻蝕\清潔\灰化)

參考價(jià)
面議
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  • 型號(hào)K1050X
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2018-05-15
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
  • 所在地區(qū)江蘇
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量100
  • 人氣值4022
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南京覃思科技有限公司是由原南京江南光學(xué)儀器廠光電儀器專(zhuān)家出資設(shè)立的一家從事光學(xué)、電子儀器銷(xiāo)售與服務(wù)的專(zhuān)業(yè)公司。公司經(jīng)營(yíng)范圍主要為:光學(xué)儀器;光電測(cè)量?jī)x器;電子儀器;與儀器配套的計(jì)算機(jī)軟硬件的銷(xiāo)售、研發(fā)以及技術(shù)服務(wù)。公司具有多年行業(yè)經(jīng)驗(yàn),擁有良好的客戶資源和技術(shù)能力,所銷(xiāo)售的儀器質(zhì)量和服務(wù)均為*,在用戶中口碑很好。
代理銷(xiāo)售的產(chǎn)品為:“美國(guó)OGP”三坐標(biāo)測(cè)量顯微鏡;“韓國(guó)MIRERO”掃描電子顯微鏡AIS2100(掃描電鏡SEM);Delong USA Inc低壓桌上型透射電鏡LVEM5(LVTEM超小型臺(tái)式透射電鏡);“美國(guó)熱電NORAN”X-RAY能譜儀;“英國(guó)EMITECH”電鏡制樣設(shè)備;“日本尼康(NIKON)”生物顯微鏡;“美國(guó)Maxwell”冷光儀(BL/CL法摩爾濃度儀、生物發(fā)光儀、化學(xué)發(fā)光檢測(cè)儀);“德國(guó)萊卡(LEICA)”金相顯微鏡、其它工業(yè)顯微鏡;“日本拓普康(TOPCON)”色彩輝度計(jì)BM-7等系列、分光輻射度計(jì)SR-3;“英國(guó)雷尼紹(RENISHAW)”激光干涉儀、球桿儀;國(guó)產(chǎn)“江南牌(JN)”各類(lèi)顯微鏡;“貴陽(yáng)新天”萬(wàn)工顯、投影儀、測(cè)長(zhǎng)儀;以及與儀器配套的顯微圖象處理分析軟件系統(tǒng)(含各種進(jìn)口、國(guó)產(chǎn)CCD攝像頭)DT-2000等,本公司是韓國(guó)MIRERO株式會(huì)社*的掃描電子顯微鏡(掃描電鏡SEM)中國(guó)總代理,同時(shí)還是“英國(guó)EMITECH”電鏡制樣設(shè)備、韓國(guó)SurfaceTech界表面張力\接觸角測(cè)量?jī)x中國(guó)總代理以及Delong USA Inc桌上型低壓透射電鏡LVEM5中國(guó)大陸代理商。本公司還承接各種顯微鏡的數(shù)字化改造。技術(shù)、質(zhì)量、服務(wù)均為*,在用戶中口碑很好。
本公司一向堅(jiān)持以“誠(chéng)信經(jīng)營(yíng)、誠(chéng)實(shí)服務(wù)”為立業(yè)宗旨,奉行“精研覃思、無(wú)微不至”的企業(yè)文化,公司將以更優(yōu)秀的科技產(chǎn)品及服務(wù)回報(bào)社會(huì),愿與社會(huì)各界竭誠(chéng)合作,共同發(fā)展。
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K1050X等離子處理單元由固態(tài)射頻發(fā)生器結(jié)合調(diào)諧電路組成,同時(shí)兩種處理氣體流量針閥監(jiān)控,全部或部分通氣口控制。抽屜式抽拉系統(tǒng),固態(tài)射頻等離子處理系統(tǒng),應(yīng)用于SEM/TEM中材料表面刻蝕、微觀灰化、表面改性處理以及清潔處理。
射頻等離子處理儀(等離子刻蝕\清潔\灰化) 產(chǎn)品詳情
K1050X等離子處理單元由固態(tài)射頻發(fā)生器結(jié)合調(diào)諧電路組成,同時(shí)兩種處理氣體流量針閥監(jiān)控,全部或部分通氣口控制。
它的腔室為圓柱形,樣品裝載為抽屜式抽拉系統(tǒng),方便使用。
真空系統(tǒng)為旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵或可選用膜片泵作為前級(jí)真空的渦輪分子泵。
在真空裝載端口及SEM/TEM中特殊的清潔應(yīng)用時(shí),可方便更換抽屜式抽拉系統(tǒng)。
此系統(tǒng)通常使用氧及氬的混合氣體,氧去除有機(jī)物質(zhì)(碳?xì)浠衔铮?,氬?duì)樣品表面進(jìn)行刻蝕。
 
應(yīng)用:

● 石棉試樣制備
● 有機(jī)材料微觀灰化
● SEM&TEM中有機(jī)樣品刻蝕
● 去除光刻膠及電子元件中的包膠
● 塑料品的表面處理
● SEM/TEM中的樣品夾清洗
 
 
特點(diǎn):

● 固態(tài)射頻發(fā)生器及調(diào)諧電路
● 全自動(dòng)控制
● 抽屜式結(jié)構(gòu)
● 兩種處理氣體
● 緊湊的臺(tái)式系統(tǒng)

優(yōu)點(diǎn):

● 低溫灰化過(guò)程
● 易操作
● 裝/卸樣品方便
● 可選擇不同的混合氣體
● 節(jié)省空間
● 注:我們建議使用No. 2泵,
       它具有“的油”。

技術(shù)規(guī)格

儀器尺寸:450mm W x 350mm D x 300mm H        重量:25Kg
桶形工作腔室:‘Pyrex’160mm L x 110mm Dia.(硼硅酸鹽玻璃作為標(biāo)準(zhǔn)配置)
拉出式抽屜:樣品托盤(pán)為抽拉式
等離子輸出:射頻電源-固態(tài)150瓦射頻峰值,通常操作范圍在25到75 瓦 @ 13.56mhz.
(備注:所使用的頻率為標(biāo)準(zhǔn)組織CISPR認(rèn)可的“工業(yè)”頻率)
真空測(cè)量范圍:完整的操作真空顯示的活性計(jì)量頭ATM - 1x10-5 mbar全刻度-通常操作真空為0.5mbar到1.0mbar
數(shù)字計(jì)時(shí)單元:99.9小時(shí)選擇范圍時(shí)間顯示。在灰化過(guò)程結(jié)束后自動(dòng)終止。
雙氣體流控制:雙氣體針閥控制,可選1或2或兩種氣體(校準(zhǔn)5到 100cm3/分 空氣 @ A.T.P.)
電源:230V 50Hz (包括泵zui大電流5 Amp);115V 60Hz(包括泵zui大電流10 Amp)
Services: Process Gas at nominal 5 psi, (0.33bar)
真空泵:No. 2 泵 (with a synthetic oil "Fomblin" for Oxygen or Corrosive Process Gases.) 2m3/Hr
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