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公司介紹主營產品

上海續(xù)波光電技術有限公司是一家專業(yè)從事高性能薄膜沉積及處理設備、光電材料、光學軟件等產品進口的技術貿易服務型公司，公司至今已與歐美、日本等國家的十余家企業(yè)建立了戰(zhàn)略合作關系；目前服務于國內從事微電子、半導體、光學、納米技術等領域的研究所和大學。主要產品包括：濺射、蒸發(fā)鍍膜儀、離子減薄儀、刻蝕機、等離子處理設備、CVD金剛石沉積設備、激光輔助化學束沉積設備，紅外窗口材料、各種功能CVD金剛石產品，光學設計、激光仿真、BSDF/BRDF測量儀、電磁場模擬仿真及測量儀器等模擬設計軟件等。

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產品簡介在線詢價

該設備用于薄膜處理，性能，代表性用戶如：法國科學研究中心（CNRS）、意法半導體（ST）

高性能離子減薄儀（Ion Milling）產品詳情

系統(tǒng)簡單配置如下：

Load lock
真空系統(tǒng): 機械泵Oil pump/Dry pump + 渦輪分子泵/低溫泵/電磁泵

離子槍: DC / RF

均勻性：100 mm襯底 +/- 4%, 刻蝕速率降低均勻性優(yōu)于+/-2%

襯底尺寸：4英寸襯底（4-12英寸可選），水冷。

終端檢測系統(tǒng)：SIMS 或激光干涉儀。

控制方式：全自動電腦控制，半自動或手動控制可選。

詳細信息和資料，請！

關鍵詞：激光干涉儀

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