2179A

質量流量控制器（帶關閉閥的通用型）

2179是一種通用型彈性密封的質量流量控制器，它帶有一個關閉閥，可在多種應用場合測量和控制氣體的流量。配上合適的壓力傳感器，它還可以用作壓力控制器。

常閉的氣密關閉閥門正向關閉時的泄漏量僅為4 x 10-9scc/sec（He）。它具有數(shù)字和模擬兩種模式，其精度為全量程的1％和讀數(shù)的1％。2179具有很小的功耗：在常規(guī)直流±15V供電工作時，單元電流僅有100mA（在zui初開機階段為200mA）。

例：型號2179A00411CR16VXX                                       采購序列號 

校準氣體（SEMI氣體編號）*

Helium, He                                                         001

Argon, Ar                                                           004

Hydrogen, H2                                                       007

Nitrogen, N2                                                        013

Oxygen, O2                                                         015

?：AP?? ??X?Q、444、437、438、439、459、462、447、546、455、456、457、458、459M、543、544、532、534、431、433、427、429、481、483、484、485、488……