晶圓芯片450度真空充氮烘箱，10pa以下硅晶片真空高溫烘箱

VOD-90

一、產品名稱及型號：

 1.1產品名稱：真空高溫干燥箱  

 1.2產品型號：VOD-90

二、主要技術指標：

2.1 電源：AC380V 3φ 50HZ

2.2 規(guī)格尺寸，功率：

2.3 升溫、降溫速率要求:

大升溫速率: ≥4 ℃/minute

小升溫速率: 2 ℃/minute

小降溫速率: 2 ℃/minute

大降溫速率: ≥4 ℃/minute (400℃降至100℃,客戶需配冷卻塔)

常用溫度: 350℃

高溫度：450℃

三、箱體結構：

外壁材料： 冷扎碳鋼板，經防銹處理后靜電噴塑，耐劃傷;                                  

內膽材料： 5mm厚，SUS304不銹鋼，不銹鋼內外表面拋光;                                                   

保溫材料：厚度150毫米硅酸保溫棉，保溫性能良好;

門:真空密封緊迫;門縫自帶高溫保護.(高溫狀態(tài)下使用,為耗品,建議2-3個月更換一次)

四、真空度：

真空泵: LEYBOLD真空泵.(客戶可自行購真空泵,或者制定真空泵型號);

真空度: ≤10 pa;                                                        

五、加熱系統(tǒng)：

   加熱元件：四面輻射加熱;                                               

六、電器系統(tǒng)：

  系統(tǒng)采用PLC控制,加熱啟停、冷卻啟停、真空泵啟停、充氮氣啟停；                       

  溫控輸出：SSR輸出，歐姆龍繼電器，固態(tài)繼電器                                                                

七、安全保護：

加熱電流過流、

系統(tǒng)短路保護;

電壓過壓保護;

真空泵過負載、

缺相保護;

電爐超溫報警等功能。

晶圓芯片450度真空充氮烘箱，10pa以下硅晶片真空高溫烘箱