Granville-Phillips 835VQM（真空質(zhì)量監(jiān)控儀）分壓泵系統(tǒng)

Granville-Phillips的分壓泵系統(tǒng)是獲獎的高性能真空質(zhì)量監(jiān)控儀（VQMTM）的真空壓力范圍擴展產(chǎn)品。其具有所有VQM的優(yōu)勢特點，包括響應(yīng)速度快和使用便捷，可用于工藝監(jiān)測和工藝控制。

835分壓泵系統(tǒng)（DPS）提供了許多實時信息，可用來優(yōu)化PVD、離子注入、鍍膜以及其他真空制程，從而提高產(chǎn)能、改善效果并節(jié)約資金。

835VQM DPS典型應(yīng)用包括：

監(jiān)控反應(yīng)氣體

確定工藝初始狀態(tài)

檢測污染物

控制反應(yīng)氣體注入量

檢測泄漏

835VQM DPS產(chǎn)品特點：

工作壓力從3Torr到5x10-9Torr

在85毫秒內(nèi)完成質(zhì)量數(shù)從1到145的氣體分壓力測量；并可提供1到300質(zhì)量數(shù)范圍的測量

可提供所識別的*個zui高比例的氣體成分的即時信息包括趨勢圖

精確的氫氣和氦氣檢測（無低質(zhì)量數(shù)成分測量分壓超全壓現(xiàn)象）

85毫秒內(nèi)完成1到145質(zhì)量數(shù)全部樣本數(shù)據(jù)的記錄；120毫秒內(nèi)完成1到300質(zhì)量數(shù)全部樣本記錄

可利用真空系統(tǒng)內(nèi)已有氣體進行單一氣體校準

緊湊型結(jié)構(gòu)設(shè)計，可靈活安裝

835VQM DPS標準系統(tǒng)配置

整個835 DPS系統(tǒng)以下組件

835VQM分壓計

390802Micro-lon全壓計

帶孔板的節(jié)流閥

分子泵

粗抽泵帶喉管

內(nèi)部連接電纜線

VQM控制器

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