A100-AFM裝備了閉環(huán)樣品定位系統(tǒng)。

它保證了定位的精度在10納米（這比市場上的閉環(huán)原子力顯微鏡的性能好10倍）。

這些突出的特性，再配以APE研究的*的軟件工具，使得這款儀器適用于納米光刻。

A100-AFM SGS 配備了彎曲掃描鏡臺，這保證了高平面度使得用戶可以進行大范圍的測量（可以達到100微米）。

APE研發(fā)了原子力顯微鏡的附加工具，這可以用于一些具體的測量模式（如EFM（靜電力顯微鏡），MFM（磁力顯微鏡），Liquid cell（液體池））

我們還和意大利研究院合作研發(fā)其他工具以滿足用戶可能提出的要求。

A100-SGS AFM

A100-SGS SPM（掃描探針顯微鏡） 鏡臺

掃描鏡臺具有包含張力測量傳感器的獨立定位系統(tǒng)

掃描器技術(shù)資料：

X-Y掃描范圍：

100*100微米（高電壓模式）；

10*10微米（低電壓模式）

高電壓模式分辨率：閉環(huán)：2nm，開環(huán)：0.2nm

閉環(huán)線性度：0.1%

Z掃描范圍：10微米（高電壓模式）；

1微米（低電壓模式）；

分辨率：0.16納米（高電壓模式），

0.02納米（低電壓模式）。

AFM Head 適用于接觸模式，非接觸模式，半接觸模式和橫向力模式

AFM Head 具有工業(yè)級的懸臂支架保持器，該保持器可以移動（很容易在懸臂上安裝和拆卸），也很容易固定在懸臂上。頭部還具有裝備了激光和光電二極管傳感器的前置放大器。

SPMCU2-PI

SPM 控制單元

SPM控制單元和計算機（配別有多輸入輸出主板）驅(qū)動掃描器，數(shù)據(jù)采集和采樣運動

采樣距離的末端由超低噪聲的模擬反饋控制，該模擬反饋由計算機數(shù)字化驅(qū)動。

該系統(tǒng)的硬件時鐘是高速的和高精度的

HVA3-PI Unit

高電壓放大器

HAV是一種高電壓放大器模塊可以驅(qū)動A-100 SGS 掃描鏡臺

計算機和數(shù)據(jù)采集板

WindowsXP、Vista 操作系統(tǒng)；奔騰處理器或酷睿2，1G/2GDDR2 SDRAM內(nèi)存，160G硬盤，DVD光驅(qū)，鍵盤和鼠標，19寸液晶顯示器，采集板和接口。

采集軟件

軟件運行是基于窗口的，為了儀器控制和數(shù)據(jù)采集，還支持多窗口操作。軟件具有簡易的濾波器可以實時分析并獲取圖像。軟件控制了儀器的所有參數(shù)。

APE研究的儀器裝備了圖像測量數(shù)據(jù)分析軟件的基本模塊，另外14項可選的功能也可以獨立的獲得。

輔助

光刻工具

隧道掃描顯微鏡工具

ＭＦＭ（磁力顯微鏡）工具

ＥＦＭ（電場力顯微鏡）工具

ＣＡＦＭ（導電原子力顯微鏡）工具

液體池

隔音箱

桌臺

其他可用的模塊