RTS-8型四探針測試儀

恒流源電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔；可連接電腦使用也可以不連接電腦使用，連接電腦使用帶自動測量功能，自動選擇適合樣品測試電流量程；高速并口通訊接口，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5秒（在0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時）；

RTS-8型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國   A.S.T.M 標準而設(shè)計的，于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
      儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
      儀器采用了電子技術(shù)進行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。
      本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。 

RTS-8型四探針測試儀前面板

 RTS-8型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。
      測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析

技　術(shù)　指　標 ：

可配ST-102E 型探針測試臺

顯微鏡和 USB 接口 CCD 攝像頭共存的監(jiān)視方式ST-102E 型探針測試臺與測試儀器配接后可用于集成電路芯片及各種晶體管芯的電參數(shù)測試及功能調(diào)試，適用于科研、新品試制及小批量生產(chǎn)的中間測試。

技 術(shù) 指 標 ：
工作臺面 370mm*245mm
載物臺直徑 4"
可選二種放大倍數(shù) *14-90 倍連續(xù)變倍；
*17.5-112.5 倍連續(xù)變倍；
監(jiān)視方式 顯微鏡和 USB 接口 CCD 攝像頭共存的監(jiān)視方式
光學(xué)參數(shù) 手輪調(diào)焦范圍：60mm；升降調(diào)焦范圍：200mm；
精密旋轉(zhuǎn)臺 粗調(diào)范圍：360°；微調(diào)范圍：±10°；zui小刻劃：1°；
銅盤直徑：Φ85mm；絕緣盤直徑：Φ102mm
三維探針座
探針座 X、Y、Z 方向調(diào)節(jié)范圍：±3.25mm，分辨率±2µ；
三維探針座在工作臺面可任意位置固定，由磁性開關(guān)控制；
zui多可布三維探針座 6 個；
探針臂伸出長度：60mm；探針長度：40mm；
探針 探針材質(zhì)硬質(zhì)合金，針尖曲率半徑 2µm；標準配置：主工作臺、顯微鏡、USB 接口 CCD 攝像頭、三維微調(diào)座 2 個、探針臂 2 支、探針 2 支?？蛇x配件：三維微調(diào)架、探針臂、探針、真空泵。可按用戶的實際需求進行訂做。

電動臺

四探針測試儀RTS-8四探針測試儀RTS-8