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HCPx0xSC Instec 方形高低溫晶圓夾盤系統(tǒng)

參考價(jià)
面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號HCPx0xSC
  • 品牌
  • 所在地國外
  • 更新時(shí)間2026-06-08
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 所在地區(qū)上海市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量42
  • 人氣值4146
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上海恒商精密儀器有限公司位于上海市徐匯區(qū),專業(yè)從事科研儀器儀表的進(jìn)出口貿(mào)易及售后服務(wù)。我司代理來自美國,瑞典 ,中國臺灣等多個(gè)國家及地區(qū)的諸多品牌,如: INSTEC FLC Electronics, Diagnostic InstrumentsOrb Optronix。產(chǎn)品涉及冷熱臺系列(Hot and Cold Stages,高低溫晶圓夾盤(Hot and Cold Chucks冷熱平板(Hot and Cold Plates,液晶檢測儀信號發(fā)生器,高電壓線性放大器 , 高電流線性放大器, 顯微鏡影像系統(tǒng),LED檢測系統(tǒng),分光輻射度計(jì),LED電源 等。

    恒商擁有服務(wù)周到的銷售團(tuán)隊(duì),為您提供專業(yè)的技術(shù)解決方案,值得您的信賴!我們提供科研交流機(jī)會,不定期舉行行業(yè)培訓(xùn),幫助客戶正確掌握產(chǎn)品的應(yīng)用、保養(yǎng)等專業(yè)知識。

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Instec高低溫晶元夾盤——來自液晶院校美國科羅拉多大學(xué)的精密溫控裝置
Instec 方形高低溫晶圓夾盤系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

Instec高低溫晶圓夾盤——來自液晶院校美國科羅拉多大學(xué)的精密溫控裝置

 

 

 

方形夾盤

高低溫晶圓夾盤系列

 



 

功能特點(diǎn)

 

可編程精密控溫

超低的盤面溫度梯度

獨(dú)立的上盤面真空氣槽,用于固定多種尺寸晶圓

尺寸超薄,可集成進(jìn)探針臺

支持頂桿孔

三軸(可選),用于防漏電

卡盤臺面不接地

下盤面真空吸氣槽(可選)

適用12 mm ~ 304 mm尺寸晶圓

 

配件配置

 

高低溫晶圓夾盤

任選1臺

mK2000溫度控制器有USB/IEEE等接口供選

制冷系統(tǒng)

液氮泵

詳詢上海恒商

 

液氮罐

容量2L/10L/30L

 

水泵冷卻外殼防止過熱,并可加速自然冷卻

 

*注:”√”表示出廠配置中包含此項(xiàng)。詳詢

 

技術(shù)參數(shù)

 

溫度分辨率

0.001℃(at 100℃)

溫度穩(wěn)定性

±0.05℃(at 100℃)

溫度均勻度

±0.1℃/cm可升級均勻性

zui小控溫速度

±0.1℃/小時(shí)

傳感器/控制算法

100Ω鉑質(zhì)RTD

PID控制可選線性直流電源

表面光滑度

10 µm(常溫下)

*注:1、表中制冷數(shù)據(jù)為使用LN2-P4液氮泵時(shí)的表現(xiàn),液氮泵型號不同,制冷表現(xiàn)也會有差異,請悉知。

2、性能可變通,詳情請

 

 

結(jié)構(gòu)圖–以150mm夾盤為例

 





 

 

型號規(guī)格

 

 

 

 

 

 

 

型號

盤面尺寸

適用樣品尺寸

溫度范圍

zui大制熱速度

HCC214S

100 mm

12 mm~101 mm

-120℃~200℃

+60℃/分鐘(at 100℃)

HCC314S

-120℃~310℃

HCC216S

150 mm

12 mm~152 mm

-100℃~200℃

+50℃ /分鐘(at 100℃)

HCC316S

-100℃~310℃

HCC218S

200 mm

40 mm~203 mm

-80℃~200℃

+35℃/分鐘(at 100℃)

HCC318S

-80℃~310℃

*注:1、表中制冷數(shù)據(jù)為使用LN2-P4液氮泵時(shí)的表現(xiàn),液氮泵型號不同,制冷表現(xiàn)也會有差異,請悉知。

    2、夾盤上下表面的獨(dú)立真空吸氣槽(可選);支持Swagelok接口(可選);支持頂桿孔(可選);制冷需液氮

3、性能可變通,詳情請

 

 

高低溫晶圓夾盤常用產(chǎn)品一覽表

型號

溫度范圍1

樣品區(qū)

三軸

方形

圓形

帕爾貼制冷2

HCC206R

-100℃ to 200℃

152 mm 直徑

 

 

Yes

 

HCC206RT

-100℃ to 200℃

152 mm直徑

Yes

 

Yes

 

HCC306R

-100℃ to 310℃

152 mm直徑

 

 

Yes

 

HCC306RT

-100℃ to 310℃

152 mm直徑

Yes

 

Yes

 

HCC208R

-80℃ to 200℃

203 mm直徑

 

 

Yes

 

HCC208RT

-80℃ to 200℃

203 mm直徑

Yes

 

Yes

 

HCC308R

-80℃ to 310℃

203 mm直徑

 

 

Yes

 

HCC308RT

-80℃ to 310℃

203 mm直徑

Yes

 

Yes

 

HCC20CR

-60℃ to 200℃

304 mm直徑

 

 

Yes

 

HCC20CRT

-60℃ to 200℃

304 mm直徑

Yes

 

Yes

 

HCC30CR

-60℃ to 310℃

304 mm直徑

 

 

Yes

 

HCC30CRT

-60℃ to 310℃

304 mm直徑

Yes

 

Yes

 

HCC214S

-120℃ to 200℃

101 mm x 101 mm

 

Yes

 

 

HCC314S

-120℃ to 310℃

101 mm x 101 mm

 

Yes

 

 

HCC216S

-100℃ to 200℃

152 mm x 152 mm

 

Yes

 

 

HCC316S

-100℃ to 310℃

152 mm x 152 mm

 

Yes

 

 

HCC218S

-80℃ to 200℃

203 mm x 203 mm

 

Yes

 

 

HCC318S

-80℃ to 310℃

203 mm x 203 mm

 

Yes

 

 

HCC602

-190℃ to 600℃

35 mm x 35 mm

 

Yes

 

 

HCC302

-120℃ to 310℃

48 mm x 60 mm

 

Yes

 

 

TC102S

-25℃ to 90℃

40 mm x 40 mm

 

Yes

 

Yes

TC104S

-25℃ to 90℃

100 mm x 100 mm

 

Yes

 

Yes

1部分型號可擴(kuò)大溫度范圍,請上海恒商以了解。

2帕爾貼制冷:冷熱臺使用帕爾貼冷卻,無需附加任何制冷配件即可制造低溫環(huán)境。(例如LN2-SYS液氮冷卻裝置、WPC3A/WPC3U液冷裝置)

 

欲了解更多型號詳請,請咨詢上海恒商

 

另:Instec英斯特科的主要產(chǎn)品包括:

 

高精度溫控裝置

  冷熱臺

  高低溫晶圓夾盤

  冷熱平板

液晶參數(shù)測試儀

液晶測試空盒

液晶材料

 

欲咨詢產(chǎn)品請本公司上海恒商精密儀器有限公司

 




本公司為美國Instec中國區(qū)總代理、瑞典FLCE(FLC Electronics)中國區(qū)*代理,不經(jīng)過中間商直接與原廠接觸,因此能提供*惠的價(jià)格。

熱門產(chǎn)品
產(chǎn)品名稱參考價(jià)地區(qū)公司名稱更新時(shí)間 
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