技術(shù)參數(shù)
觀察圖像: 正像
光管 (選件): 單目目鏡或雙目目鏡
(俯角：25o)、十字投影法、
帶有TV 插板、光通比
(目鏡/TV 插板：50/50)
目鏡(選件): 10X, 15X, 20X
物鏡: 3X (375-037), W.D.: 72.5mm
可選：1X, 5X 10X, 20X, 50X, 100X
輪廓照明
? 光源: 鹵素?zé)襞?12V, 50W)
? 光學(xué)系統(tǒng): 帶有可調(diào)整光圈的遠(yuǎn)心照明系統(tǒng)
? 功能: 光強度可調(diào)、 無級亮度調(diào)整
表面照明
? 光源: 鹵素?zé)襞?12V, 100W 或 12V, 150W)
? 光學(xué)系統(tǒng): 帶有可調(diào)整光圈的科勒照明系統(tǒng)
? 功能: 光強度可調(diào)、 無級亮度調(diào)整
顯示裝置
? 軸數(shù): 2 軸 (MF-A 型) 或 3 軸 (MF-B 型)
? 分辨率: 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm/
.0001" / .00005" / .00001"
? 功能: 調(diào)零、方向轉(zhuǎn)換、
數(shù)據(jù)輸出(通過 RS-232C 接口)
電源: 100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz
重量 65.5kg (505B, 1010B),
69.5kg (2010B),
130kg (2017B),
138kg (3017B),
144kg (4020B)

性能參數(shù)
型號 (XY 工作臺尺寸) 505B 1010B 2010B 2017B 3017B 4020B
貨號MF-A 176-561* 176-562* 176-563* 176-564* 176-565* 176-566*
MF-B 176-581* 176-582* 176-583* 176-584* 176-585* 176-586*
XY 工作臺移動范圍50 x 50mm 100 x 100mm 200 x 100mm 200 x 170mm 300 x 170mm 400 x 200mm
Z 軸移動范圍150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
調(diào)焦方式手動調(diào)焦(粗調(diào)焦：10mm/rev、微調(diào)焦：0.1mm/rev)
測量方法線性編碼器(2 軸型：X / Y 軸、3 軸型：X / Y / Z 軸)
分辨率 (可轉(zhuǎn)換) 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm / .0001" / .00005" / .00001"
測量精度(20oC 時) XY 軸：(2.5+0.02L)μm, L 為無負(fù)載測量長度(mm), JIS B 7153
指示精度(20oC 時) Z 軸：(5+0.04L)μm, L 為測量長度(mm)
浮動功能帶有快速斷開功能的X 和Y 軸
XY 工作臺臺面尺寸280 x 280mm 280 x 280mm 350 x 280mm 410 x 342mm 510 x 342mm 610 x 342mm
載物玻璃有效尺寸180 x 180mm 180 x 180mm 250 x 150mm 270 x 240mm 370 x 240mm 440 x 240mm
旋轉(zhuǎn)功能— — — ±5o (左) ±5o (左) ±3o (左)
zui大工件重量10kg 10kg 10kg 20kg 20kg 15kg
zui大工件高度150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
* 為區(qū)分交流電源電壓，在貨號后加上以下后綴(如：176-561A):
A 適于UL/CSA, D 適于CEE, E 適于BS, DC 適于中國、K 適于EK，無后綴適于JIS/100V