半導體微型氣體質(zhì)量流量計庫號：M415936

微小氣體質(zhì)量流量控制器/半導體微型氣體質(zhì)量流量計 型號:GMFC-CXB-4-R4-A1-F2庫號：M415936   查看hh

微型氣體質(zhì)量流量計

型號：GMFC-CXB-4-R4-A1-F2

用途與特點：質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)境和真空燈多種行業(yè)的科研和中有著重要的作用。其應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外*延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器等。

主要技術(shù)指標

量程范圍：（0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM

（0~1,2,3,5,10, 50,100,200,500...） SLM

準確度：±1.0%F.S

線性：±0.5~1.5%F.S

重復精度：±0.2%F.S

響應時間：電特性：10sec，氣特性：（1~4）sec

工作壓差：（0.1~0.5）MPa

耐壓：3MPa

工作環(huán)境溫度：0~70℃

數(shù)字量：RS485 MODBUS協(xié)議

模擬量：DC 0~5V ，4~20mA 可選

供電：DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA

電氣連接：DB15

漏率：1×10-8SCCSHe

底座材質(zhì)：316L不銹鋼

密封材質(zhì)：氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠

氣路接頭：Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞

質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮氣(N?)標定.

質(zhì)量流量的單位規(guī)定為：SCCM (標準毫升/分); SLM：(標準升/分)

標準狀態(tài)規(guī)定為：

溫度-----273.15K (0℃);

氣壓-----101325 Pa （760mm Hg）

F.S (Full Scale)：滿量程值

技術(shù)參數(shù)

材質(zhì)：不銹鋼

精度等級：1

適用介質(zhì)：氣體

款式：電子帶數(shù)顯

公稱直徑：6mm

工作壓力：3Mpa

流量測速范圍：0---30SLMkg/h

工作溫度：5-65℃℃

介質(zhì)：氧氣

流量范圍：750-3000SCCM

供電：DC24V

輸入輸出：0-5v或者4-20mA

顯示：LCD

通訊：RS485

精度：±1%FS

壓差范圍：0.05Mpa-0.3MPa

進口壓力：≤3Mpa

溫度：5-65℃

連接：1/4卡套接頭

氮氣標定量程

安裝注意事項：

測量介質(zhì)：氣體須凈化，切忌粉塵、液體和油污。

工作壓差：要特別注意工作介質(zhì)的氣壓，應注意使控制器進出氣口兩端的工作壓差保持在指標范圍之內(nèi)。工作壓差不在規(guī)定的范圍內(nèi)，流量將無法關(guān)閉或調(diào)小。在使用大流量的質(zhì)量流量控制器時，要注意適當加粗管道和減小氣源內(nèi)阻，若工作壓差小于要求值，有可能流量達不到滿量程值。（建議客戶：在進出口處安裝壓力表）

半導體微型氣體質(zhì)量流量計庫號：M415936