Optitherm lll發(fā)射率自動測量儀

美國*！

簡要描述：

在CVD、MBE和MOCVD反應(yīng)過程中，Optitherm lll 發(fā)射率自動測量系統(tǒng)通過光纖鏡頭和的脈沖激光器可以精確地測量單個或多個晶片的溫度 。

Optitherm lll 可以監(jiān)測著被測光潔材料的不斷變化的發(fā)射率，從而使得紅外測溫設(shè)備可以達(dá)到±3℃的精度。該主動式測量技術(shù)不同于傳統(tǒng)的被動式測量技術(shù)。

    Optitherm lll 通過主動式反射測量技術(shù)得到目標(biāo)的發(fā)射率(E%)，從而得到目標(biāo)的實際溫度(Te)。當(dāng)接收測量紅外輻射時,在同一時間,位置,波段自動測量被測物光潔表面的反射,獲得準(zhǔn)確的實際溫度。微處理器以極快的速度(1ms)將這些值傳遞給PC，PC快速計算并記錄下目標(biāo)的實際溫度，從而實現(xiàn)即時的過程控制。

   Optitherm lll 可以應(yīng)用在各種各樣的應(yīng)用中，如：生產(chǎn)制造、芯片加工或研究與開發(fā)等其他一系列與精確溫度測量方面的應(yīng)用。

技術(shù)：

Optitherm lll 使用了技術(shù),基于紅外技術(shù)的激光來測量目標(biāo)的發(fā)射率及真實溫度。

一個低功率的砷化鎵脈沖激光器發(fā)出脈沖激光，通過特定的光路(激光通道)發(fā)射到被測目標(biāo)上的測量區(qū)域，激光反射信號和紅外輻射信號通過另一個光路(輻射通道)返回。激光信號(AC)在目標(biāo)信號(DC)之上。監(jiān)控發(fā)出的激光能量并加上幾何因素(包括測量距離)，Optitherm lll 可以得到被測目標(biāo)的反射率及發(fā)射率。測量過程中，僅接收目標(biāo)輻射出的以激光波段為中心的非常窄的帶寬的波段，這使其可以在特殊應(yīng)用中得到zui高的精度。

Optitherm lll 內(nèi)置了5種操作模式：遠(yuǎn)程控制模式，由PC通過命令操作和控制；自動模式，在一定時間內(nèi)持續(xù)輸出數(shù)據(jù)，時間可調(diào)；單一模式，僅適用其溫度測量功能；間隔模式，在特定的時間定序內(nèi)測量；離線模式，用于安裝和校準(zhǔn)功能。

• 參數(shù)設(shè)置：< >紅外輻射和發(fā)射率的自動測量溫度范圍: 250°C- 1500°C溫度精度: ±3°C6 個波段可選:808、850、905、940、980和 1550nm

   

  < >數(shù)據(jù)采樣率zui快可達(dá) 1 ms數(shù)字接口： RS232每秒鐘向PC端輸出70個讀數(shù)測量光斑zui小可達(dá)0.25"，大小可調(diào)

   

  實際應(yīng)用：

   半導(dǎo)體薄片溫度測量

    晶片的生產(chǎn)和研發(fā)

    光潔表面的測量

    反應(yīng)過程的溫度測量:

  CVD 反應(yīng)器

  MBE 反應(yīng)器

  MOCVD 反應(yīng)器

   

  ------------------------------------------------------