一、雙閥壓力控制器產(chǎn)品描述
PCD系列雙閥壓力控制器利用自帶的進(jìn)氣閥和泄壓閥快速穩(wěn)定地控制密閉容器內(nèi)的壓力,Alicat *的設(shè)計(jì)使其不但可將過程氣體引入腔體內(nèi),亦可在腔體壓力過高時自行泄壓。該系列設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于各個領(lǐng)域,如:半導(dǎo)體生產(chǎn)及生物制藥檢測等。 PCD系列是專為密閉容器設(shè)計(jì)、快速、精確、可重復(fù)、性價比*的壓力控制設(shè)備。控制密閉容器內(nèi)壓力的傳統(tǒng)方法是通過一臺壓力控制器(或開關(guān))和一個排氣口進(jìn)行,此方法雖然可行,但往往導(dǎo)致了昂貴氣體的浪費(fèi)、重復(fù)性差及精度差。Alicat 的PCD通過改良的PID回路控制,使其可對兩臺閥門進(jìn)行控制且僅允許其中一臺處于開啟狀態(tài),這樣的設(shè)計(jì)可使密閉容器內(nèi)壓力快速精確到達(dá)設(shè)定值的同時亦將氣體排放控制在zui小。
二、產(chǎn)品優(yōu)勢
響應(yīng)速度
通過改良額的PID回路控制,PCD系列壓力控制器能迅速精確地到達(dá)一個設(shè)定值。由于PCD采用與PC單閥系列類似的控制計(jì)算,測得其控制速度小于0.1秒。
降低成本
PCD系列僅允許一臺閥門處于開啟狀態(tài),并自動將PID回路控制切換至相應(yīng)閥門。通過同時開啟并關(guān)閉一臺閥門,大大降低了為保持一個設(shè)定壓 力值而產(chǎn)生的氣體排放,即減少了氣體浪費(fèi)。改用PCD系列,可為購買罐裝氣體的用戶每年節(jié)省數(shù)千美元成本。
控制精度
PCD系列利用改良型PID回路控制及兩臺比例控制閥,使其標(biāo)準(zhǔn)控制精度可達(dá)±0.25% F.S.,另有高精度供選配。改良型PID回路及比例控制模式不僅僅提升了密閉或接近密閉系統(tǒng)內(nèi)壓力控制的精度,同時也消除了其他使用壓力開關(guān)或開閉閥的壓力控制器*的盲區(qū)。
可重復(fù)性
通常模塊化設(shè)計(jì)的工藝設(shè)備,其所用儀器須是可重復(fù)的。PCD系列有著驚人的可重復(fù)性: ±0.08% F.S.
三、應(yīng)用流程圖






























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