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壓阻式壓力傳感器

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壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應而構成。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內。當壓力發(fā)生變化時,單晶硅產生應變,使直接擴散在上面的應變電阻產生與被測壓力成正比的變化,再由橋式電路獲相應的電壓輸出信號。中文名壓阻式壓力傳感器外文名Piezoresistivepressuresensor又稱擴散硅壓力傳感器類型壓力式傳感器的一種核心部分N型的圓形硅膜片應用航天、航空、航海、石油化工1壓阻式壓力傳感器應用壓阻式傳感器是用于這方面的較理想的傳感器。例如,用于測量直升飛機機翼的氣流壓力分布,測試發(fā)動機詳情>>

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