超薄切片機(jī)是一種用于材料科學(xué)領(lǐng)域的科學(xué)儀器，于2019年5月31日啟用。超薄切片機(jī)技術(shù)指標(biāo)1.工件尺寸:直徑6inch；2.主軸功率：2.0kW；3.主軸轉(zhuǎn)速：3,000~40,000rpm；4.X軸：移動(dòng)速度800mm/s；5.Y軸：移動(dòng)速度200mm/s，最小進(jìn)給：0.1um，進(jìn)給精度〈5um；6.Z軸：移動(dòng)速度80mm/s，重復(fù)精度〈1um；7.切割最小寬度間隙：〈50um(根據(jù)刀片)；8.可切割材質(zhì)：Si、SiC、SiO2、Ge、III-V半導(dǎo)體、藍(lán)寶石；9.顯示屏15寸GUI。[1]超薄切片機(jī)主要功能劃片機(jī)是利用金剛石外圓刀具高速旋轉(zhuǎn)來(lái)切割晶圓的設(shè)備，廣泛應(yīng)用于硅片，砷化鎵，陶瓷等不詳情>>
超薄切片機(jī)價(jià)格
