主要特點(diǎn)：

1.  新型電子光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)達(dá)到掃描電鏡世界分辨率：二次電子0.4nm（30KV），STEM0.34nm（30KV）。

2.  用改良的高真空性能和*的電子束穩(wěn)定性來(lái)實(shí)現(xiàn)高效率截面觀察。

3.  采用全新設(shè)計(jì)的Super E x B能量過(guò)濾技術(shù)，高效，靈活地收集SE / BSE/ STEM信號(hào)。

應(yīng)用領(lǐng)域：

1.      半導(dǎo)體器件

2.      高分子材料

3.      納米材料

4.      生命科學(xué)