帶氣體預(yù)熱PECVD系統(tǒng)

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質(zhì)代理商

所在地無錫市

在線詢價收藏產(chǎn)品

聯(lián)系方式：徐燕查看聯(lián)系方式

更新時間：2025-08-10 10:12:07瀏覽次數(shù)：153次

聯(lián)系我時，請告知來自儀表網(wǎng)

暫無信息

江蘇前錦爐業(yè)設(shè)備有限公司

經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：45條

所在地區(qū)：江蘇無錫市

聯(lián)系人：徐燕（銷售經(jīng)理）

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

型號：PE1260B-Y用途：用作提高樣品等離子體化學(xué)氣相沉積效果的方向規(guī)格：特點：在常規(guī)PECVD系統(tǒng)基礎(chǔ)上增加了氣體預(yù)熱功能，使得沉積效果更好。

詳細介紹

PECVD系統(tǒng)就是為了使傳統(tǒng)的化學(xué)氣象沉積（CVD）反應(yīng)溫度降低，在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應(yīng)裝置將反應(yīng)氣體電離，形成等離子體，

利用等離子體的活性來促進反應(yīng)，所以這個系統(tǒng)稱為增強型化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）。

主要特點：

1. 管內(nèi)真空度自動平衡——管內(nèi)真空度實時監(jiān)測，自動平衡。PECVD工藝要求石英管內(nèi)真空度通常在0.1～100Pa之間，該型號PECVD的AIO控制系統(tǒng)會通過真空泵的自動啟停來維持用戶設(shè)定的管內(nèi)真空度，使成膜效果達的均勻性。

2. AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個7英寸觸摸屏進行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控，協(xié)調(diào)控制——成儀AIO控制系統(tǒng)；

3. 射頻功率的定時控制——預(yù)先設(shè)定好功率的大小和打開與關(guān)閉的時間，自動運行；

4. 爐膛移動速度可調(diào)——根據(jù)實驗要求，用戶可設(shè)定爐膛左右移動的速度可距離，在沉積結(jié)束后爐膛可自動移開沉積區(qū)，使樣品快速冷卻；

5.增加了氣體預(yù)熱溫區(qū)，在氣體電離前把反應(yīng)氣體加熱到實驗溫度，使得沉積效果更佳穩(wěn)定，縮短沉積時間。

設(shè)備名稱：	帶氣體預(yù)熱雙溫區(qū)RECVD系統(tǒng)
型號：	PE1260B-Y
爐膛模式：	開啟式爐膛
顯示模式：	7英寸觸摸屏
控制系統(tǒng)：	成儀AIO智能控制系統(tǒng)
極限溫度：	1200℃
加熱元件：	摻鉬鐵鉻鋁合金加熱絲
測溫元件：	K型熱電偶
保溫材料：	高純度氧化鋁纖維
工作溫度：	≤1150℃
升溫速率：	建議10℃/Min
加熱溫區(qū)：	雙溫區(qū)
總溫區(qū)長度：	200+200
進氣預(yù)熱溫度：	800℃
進氣預(yù)熱區(qū)長度：	200mm
爐管規(guī)格：	60*1400mm
控溫精度：	±1℃
密封方式：	快速法蘭密封
溫度曲線：	30段"時間—溫度曲線"任意可設(shè)
預(yù)存曲線：	可預(yù)存15條溫度曲線
曲線顯示：	燒結(jié)曲線實時描繪顯示
射頻電源功率：	5～300W自動匹配
射頻頻率：	13.56MHz
真空系統(tǒng)抽速：	2L/s
真空泵類型：	雙級聯(lián)高真空機械泵
真空泵極限真空度：	10-2Pa
系統(tǒng)真空度：	≤20Pa
管內(nèi)壓力要求：	根據(jù)用戶設(shè)定自動啟停真空泵，達到壓力自動平衡
壓力保護：	管內(nèi)超壓后自動放氣泄壓
供氣系統(tǒng)：	3～5路質(zhì)量流量計
精準度：	±1
氣體種類：	乙炔、氫氣、氮氣、二氧化碳
氣體切換：	根據(jù)用戶設(shè)定，氣體可以實現(xiàn)自動切換