(一) 總則 

1.1六氟化硫氣體回收充氣裝置，使用人員應(yīng)具備設(shè)備使用基本操作方法和設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)流程。 

1.2六氟化硫氣體回收充氣裝置設(shè)備主要功能：抽真空、回收氣體、充氣、氣體干燥、氣體液化、氣體汽化等。 1.3設(shè)備采用設(shè)備負(fù)責(zé)人制度，設(shè)備負(fù)責(zé)人負(fù)責(zé)設(shè)備的使用、維護(hù)、及保養(yǎng)工作。操作使用設(shè)備至少兩人參加。 1.4設(shè)備參數(shù) 

1.4.1設(shè)備性能參數(shù) 

1) 設(shè)備電源為380V 

2) 工作環(huán)境溫度  -10～+40℃3) 工作環(huán)境：周圍無(wú)腐蝕性化學(xué)物品，通風(fēng)良好。不受其它熱源輻射的地方運(yùn)行。1.4.2設(shè)備主要部件參數(shù)1) SF6壓縮機(jī)功率?3.0KW???????????????潤(rùn)滑油?HD25冷凍油最小允許吸氣壓力53KPa??????????最大允許吸氣壓力0.3MPa?允許排氣壓力?1.96Mpa?????最大排氣壓力?2.50Mpa?2) 真空泵抽氣速度?15L/s???????????極限真空≤6×10-2?????????????????????

潤(rùn)滑油?HD25冷凍油功率2.2KW?3) 制冷機(jī)組標(biāo)準(zhǔn)制冷量?4600Kcal/h????制冷劑R22??????????????????制冷劑最大充注量?2.5Kg????????潤(rùn)滑油?HD25冷凍油4) 容器儲(chǔ)存容器容積180L???????儲(chǔ)存容器儲(chǔ)液量?180Kg??????液化容器容積?40L???????????????液化容器儲(chǔ)液量?40Kg?1.4.3設(shè)備技術(shù)參數(shù)1) 回收初壓力?0.8Mpa???????????終壓力≤0.053?????????????1立方米容積所須時(shí)間≤0.4h/m3?

2) 充氣初壓力≤133Pa????????????終壓力≤0.7Mpa??????????????1立方米容積所須時(shí)間≤0.2h/m3

3) 抽真空極限真空≤10Pa???????????年泄露率≤1﹪抽真空從0.1Mpa至133Pa需要時(shí)間≤0.25h/m3????????????

真空保持從133Pa經(jīng)24小時(shí)上升值≤400Pa??4) 儲(chǔ)存容器儲(chǔ)存壓力3.9Mpa??????????容積220L?儲(chǔ)液量220kg?5) 總功率≤11kw?6) 設(shè)備自重≤1000kg?

*從0.08Mpa表壓回收到0Mpa表壓時(shí)間小于0.12小時(shí)/立方米。??*從0Mpa表壓回收到0.053Mpa時(shí)間小于0.28小時(shí)/立方米。*管道通徑為DN2O，管道長(zhǎng)度5米。?*指氣源含水量為1000PPM/V時(shí)，經(jīng)一次回收干燥后氣體含水量。(二) 操作前準(zhǔn)備工作2.1設(shè)備的管路連接：采用專用的鋼編軟管連接、軟管連接頭，連接處用密封圈密封。2.2檢查電源相序：接上電源后，設(shè)備儀表和指示燈不亮?xí)r，則相序錯(cuò)誤。搬動(dòng)相序轉(zhuǎn)換后設(shè)備可恢復(fù)正常。(三) 操作順序及方法3.1裝置自身抽真空a) 首先確認(rèn)裝置全系統(tǒng)無(wú)壓力。若有壓力，需開(kāi)啟相關(guān)閥門將壓力放空至0表壓。隨后用軟管將裝置進(jìn)口和出口連接起來(lái)，依次開(kāi)V2、V3、V4、V7、V8、V9、V71（V71置于右側(cè)板門內(nèi)）。b) 觀察進(jìn)氣口壓力表M1，確定進(jìn)氣口壓力表M1顯示不大于0表壓。若進(jìn)氣口壓力表M1顯示大于0表壓，應(yīng)先排空系統(tǒng)內(nèi)的壓力使進(jìn)氣口壓力表M1顯示不大于0表壓。c) 啟動(dòng)真空泵電源，打開(kāi)V1，對(duì)裝置自身抽真空。d) 開(kāi)真空計(jì)電源，觀察真空度。e) 當(dāng)真空計(jì)VM顯示達(dá)到極限真空后，依次關(guān)真空計(jì)電源、V71、V9、V8、V7、V4、V3、V2、V1，關(guān)閉真空泵電源，抽真空結(jié)束。3.2對(duì)開(kāi)關(guān)設(shè)備抽真空a) 用軟管將開(kāi)關(guān)設(shè)備與裝置進(jìn)口端連接起來(lái)。b) 開(kāi)V2和開(kāi)關(guān)設(shè)備的閥門。c) 確定進(jìn)氣口壓力表M1顯示不大于0表壓后，啟動(dòng)真空泵電源，開(kāi)啟V1，對(duì)開(kāi)關(guān)設(shè)備抽真空。d) 開(kāi)真空計(jì)電源，觀察真空度。當(dāng)真空計(jì)VM顯示達(dá)到所要求值后，依次關(guān)真空計(jì)電源，關(guān)設(shè)備閥門、V2、V1、和真空泵電源，抽真空結(jié)束。3.3回收儲(chǔ)存a) 啟動(dòng)制冷機(jī)組，開(kāi)V7和V9，使液化容器和儲(chǔ)存容器內(nèi)壓力（由壓力表M4和M5指示）低于1.0～1.5Mpa,關(guān)V7和V9。b) 將軟管與裝置進(jìn)口端連接起來(lái)。c) 開(kāi)V2，確定進(jìn)氣口壓力表M1在0表壓以下后，啟動(dòng)真空泵電源，開(kāi)V1對(duì)軟管抽真空。d) 開(kāi)真空計(jì)電源，當(dāng)真空機(jī)VM顯示達(dá)到極限值時(shí)，可以認(rèn)為軟管內(nèi)空氣已抽凈，依次關(guān)真空計(jì)電源、V1、V2和真空泵電源。e) 把軟管與開(kāi)關(guān)設(shè)備連接，依次開(kāi)啟V2、V5、V8、V9、壓縮機(jī)電源，調(diào)節(jié)減壓閥V61（出廠已整定，一般不需要調(diào)節(jié)）使壓縮機(jī)進(jìn)氣口壓力表M2顯示小于0.15Mpa,對(duì)容器內(nèi)的SF6氣體

進(jìn)行回收，同時(shí)進(jìn)行凈化和儲(chǔ)存。f) 當(dāng)壓縮機(jī)進(jìn)氣口壓力表M2低于-0.05Mpa或達(dá)到所要求回收終壓時(shí)，依次關(guān)開(kāi)設(shè)備閥門、V2、V5、V8、V9、壓縮機(jī)電源、制冷機(jī)組電源，回收結(jié)束。3.4利用儲(chǔ)存容器內(nèi)部壓力充氣a) 將軟管與裝置出口端連接起來(lái)。根據(jù)不同用途，必要時(shí)可在裝置出口端加裝減壓器。b) 對(duì)軟管抽真空（開(kāi)V3、真空泵和V1，方法同上。結(jié)束時(shí)注意關(guān)閉V3、V1、真空泵、真空計(jì)、把軟管與開(kāi)關(guān)設(shè)備連接）。c) 開(kāi)V9，使SF6液化容器內(nèi)可能存有的SF6液體流入SF6液態(tài)儲(chǔ)存容器，再開(kāi)開(kāi)關(guān)設(shè)備閥門，慢慢打開(kāi)V4，向SF6開(kāi)關(guān)充氣。d) 若充氣后儲(chǔ)存容器內(nèi)的SF6氣體壓力下降與被充開(kāi)關(guān)壓力趨于仍有液體存在時(shí)，可打開(kāi)SF6氣化電加熱器，是液態(tài)SF6充分氣化，以提高儲(chǔ)存容器內(nèi)SF6氣體壓力。e) 當(dāng)開(kāi)關(guān)設(shè)備內(nèi)達(dá)到所需壓力值時(shí)，應(yīng)先關(guān)閉氣化電加熱器電源，在關(guān)閉V9、V4、開(kāi)關(guān)設(shè)備閥門，開(kāi)關(guān)設(shè)備閥門，充氣結(jié)束。3.5利用壓縮機(jī)充氣a) 當(dāng)儲(chǔ)存容器（包括SF6儲(chǔ)存容器和SF6液化容器）內(nèi)壓力低于開(kāi)關(guān)設(shè)備所需的工作壓力，且液位計(jì)已看不到液位，而開(kāi)關(guān)仍需少量SF6氣體時(shí)，才能用此操作。b) 連接軟管至裝置出口端。并對(duì)軟管抽真空。c) 開(kāi)啟開(kāi)關(guān)設(shè)備閥門、V8、V4，然后再開(kāi)V6和壓縮機(jī)電源，對(duì)開(kāi)關(guān)設(shè)備充氣。d) 當(dāng)開(kāi)關(guān)設(shè)備內(nèi)達(dá)到所需壓力值時(shí)，關(guān)V6和壓縮機(jī)電源、V8、V4、開(kāi)關(guān)設(shè)備閥門充氣結(jié)束。3.6對(duì)鋼瓶充灌SF6液體準(zhǔn)備工作：a) 用軟管將鋼瓶與裝置出口端連接起來(lái)，并對(duì)軟管抽真空。b) 根據(jù)需要可回收并抽凈鋼瓶?jī)?nèi)殘余的SF6氣體至負(fù)壓，必要時(shí)，可對(duì)鋼瓶抽真空。方法：在SF6液態(tài)儲(chǔ)存容器液位已達(dá)極*充灌鋼瓶a) 開(kāi)V7、制冷機(jī)組電源，在制冷機(jī)組作用下，使SF6液化容器內(nèi)的SF6不斷增加已達(dá)到一定的液位，關(guān)閉V7，并使SF6溫度TM繼續(xù)降至-10～0℃左右。b) 同時(shí)打開(kāi)SF6液態(tài)儲(chǔ)存容器氣化電加熱器，使SF6液態(tài)儲(chǔ)存容器內(nèi)的SF6壓力上升至3.0Mpa左右。c) 開(kāi)鋼瓶閥門V4，開(kāi)V7加壓，向鋼瓶充灌SF6液體，一般可充45kg。d) 結(jié)束時(shí)，關(guān)V7、鋼瓶閥門、V4、氣化電加熱器，開(kāi)V3、V5、V8,用壓縮機(jī)將軟管內(nèi)SF6液體回收到液化容器內(nèi)后，關(guān)閉所有閥門，停機(jī)。3.7?SF6氣體的循環(huán)干燥凈化處理a) 啟動(dòng)制冷機(jī)組，開(kāi)V7和V9,使液化容器和儲(chǔ)存容器內(nèi)壓力（由壓力表M4和M5指示）低于1.0～1.5Mpa,關(guān)V7和V9。b) 開(kāi)V8、V9，開(kāi)壓縮機(jī)電源，開(kāi)V6，進(jìn)行循環(huán)干燥凈化處理。c) 循環(huán)干燥凈化處理一段時(shí)間（約半小時(shí)）后，關(guān)V6、壓縮機(jī)電源、V8、V9，和制冷機(jī)組電源，循環(huán)干燥凈化處理結(jié)束。3.8分子篩再生a) 開(kāi)V71和V3，先將干燥過(guò)濾器內(nèi)的SF6氣體放凈。b) 確定進(jìn)氣口壓力表M1在0表壓以下后，關(guān)V3，啟動(dòng)真空泵電源，開(kāi)V1和真空泵電源，開(kāi)V1和真空計(jì)電源，對(duì)干燥過(guò)濾器抽真空。c) 開(kāi)干燥過(guò)濾器電加熱電源，持續(xù)約4小時(shí)。關(guān)閉干燥過(guò)濾器電加熱電源，繼續(xù)抽真空直到干燥過(guò)濾器冷卻到室溫。d) 關(guān)真空計(jì)電源、V71，最后關(guān)V1和真空泵電源。（四）注意事項(xiàng)1. 當(dāng)環(huán)境溫度低于5℃時(shí)，應(yīng)對(duì)真空泵、SF6壓縮機(jī)進(jìn)行預(yù)熱，提高潤(rùn)滑油溫度后，才能啟動(dòng)。2. 電源線中的接地線必須可靠接地。3. 不操作分子篩再生時(shí)，禁止啟動(dòng)干燥過(guò)濾器電加熱器。4. 當(dāng)M1表指示被抽容器壓力大于0表壓，禁止啟動(dòng)真空泵、真空計(jì)。5. 真空泵、壓縮機(jī)、制冷機(jī)組不得頻繁啟動(dòng)。6. 不做SF6氣化加壓時(shí)，禁止啟動(dòng)氣化加熱器。7. 回收、充氣或灌鋼瓶操作前先對(duì)連接膠管抽真空。8. 操作加熱器時(shí)，應(yīng)注意儲(chǔ)存容器溫度不宜超過(guò)+30℃。9. 操作制冷機(jī)組時(shí)，應(yīng)注意液化容器溫度不宜低于-30℃。10. 做其他實(shí)驗(yàn)時(shí)，應(yīng)斷開(kāi)設(shè)備電源和連接軟管，以免損壞設(shè)備。