上海欣諭儀器有限公司
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閱讀：23發(fā)布時間：2026-2-12
Mks(電容式)真空硅管
利用彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生形變而引起電容變化的原
理制成的。
測量頭中有一層彈性膜片，把測量頭分為兩個室，一個是
內(nèi)置的高真空室，另一個室可以與外界相通。膜片與高真
空室內(nèi)電J構(gòu)成一個電容器。當測量頭處于大氣壓時，膜
片處于較大壓力下，發(fā)生較大位移，使電容的增大;當測
量頭處于真空狀態(tài)時，膜片壓力減小，位移減少，從而電
容器的電容減小。通過測量電容大小可以知道真空度。
電容式真空規(guī)管測量的數(shù)值與氣體的種類無關(guān)，與壓力大
小有關(guān)，所測量真空度精度高，可測蒸氣和腐蝕性氣體。
Mks(電容式)真空規(guī)管測量的是容器的壓力。
真空規(guī)管安裝在容器的上方，避免工藝粉塵和液體聚集,
遠離震源.
Mks(電容式)真空硅管
工作電壓：DC+/- 15V,輸出：DC 0-10V模擬線性輸出。
膜片的平衡位置（零點）對環(huán)境溫度非常敏感，為了確保薄
膜規(guī)的零點更穩(wěn)定通常在薄膜規(guī)外面加一層控溫裝置，解決
薄膜規(guī)零點漂移大的問題。
零點的設(shè)定可以通過調(diào)整位于規(guī)管上方的零點電位計，在零
點調(diào)整前規(guī)管必須在穩(wěn)定的狀態(tài)下。
MKS規(guī)管在工作前需要預熱2小時后才能開始抽真空，剛送電
時，表盤上溫度狀態(tài)燈隨加熱溫度的上升由橙色變成黃色，
正常情況下加熱失敗狀態(tài)燈不應該亮（紅燈），亮時需要檢
修.
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