美國(guó)布魯克斯質(zhì)量流量計(jì)  

為真正實(shí)現(xiàn)對(duì)每個(gè)過程的控制，用戶必須準(zhǔn)確測(cè)量進(jìn)行中的過程 — 范圍涉及饋線、倉室等每一處 — 然后利用所得到的實(shí)時(shí)信息確過程準(zhǔn)確按照目標(biāo)執(zhí)行并達(dá)到目標(biāo)產(chǎn)率。
作為一家在氣體準(zhǔn)確測(cè)量與控制方面的企業(yè)，布魯克斯儀器數(shù)十年來不斷堅(jiān)持創(chuàng)新熱質(zhì)量流量技術(shù)，推出新產(chǎn)品并不斷提升現(xiàn)有系統(tǒng)性能以突破現(xiàn)有熱質(zhì)量流量技術(shù)在準(zhǔn)確性、響應(yīng)速度，準(zhǔn)確度和重現(xiàn)性方面的限制。

 美國(guó)布魯克斯質(zhì)量流量計(jì)  

布魯克斯質(zhì)量流量設(shè)備在球得到廣泛應(yīng)用的關(guān)鍵原因：

• 擁有業(yè)內(nèi)種類齊全的產(chǎn)品系列可滿足各種應(yīng)用需求

• 創(chuàng)新型 MultiFlo? 技術(shù)可使一臺(tái)設(shè)備完成氣體類型和量程的切換工作并且無需從系統(tǒng)中拆除設(shè)備，同時(shí)還能夠提升過程氣體的測(cè)量準(zhǔn)確性

• 產(chǎn)品范圍全面，包括彈性體密封和金屬密封選件

• 超高純度設(shè)備，專為滿足薄膜、半導(dǎo)體以及其他科技行業(yè)需求而設(shè)計(jì)

關(guān)鍵應(yīng)用

• 熱處理、切割等其他熱過程

• 半導(dǎo)體和 LED 生產(chǎn)工具

• 薄膜淀積系統(tǒng)

• 用于生物制藥的生物反應(yīng)器

• 石化和化工氣體和液體試驗(yàn)工廠

• 吹掃氣體、過程分析和分析用流量測(cè)定

• 寬的流量和壓力適用范圍

• 長(zhǎng)期穩(wěn)定性保障設(shè)備使用價(jià)值

• 包括經(jīng)認(rèn)證適用于危險(xiǎn)區(qū)域的產(chǎn)品

• 可清洗/沖洗的設(shè)備外殼

• 流體類型

• 流量范圍-滿量程容量3 sccm - 2500 lpm

  準(zhǔn)確± 0.6% of SP

  上限壓力4500 psig

  溫度65oC