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閱讀：7發(fā)布時(shí)間：2026-2-11
萊峰LF系列氣體質(zhì)量流量控制器的組成部分通常包括傳感器、控制閥、電子單元、外殼、連接件等。每個(gè)部分的作用明確，比如傳感器負(fù)責(zé)測(cè)量流量，控制閥調(diào)節(jié)流量，電子單元處理信號(hào)等。再配合高級(jí)功能，比如溫度補(bǔ)償、通信接口等。一套高精度氣體質(zhì)量流量控制器就形成了。
萊峰LF質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))由質(zhì)量流量傳感器，分流器通道，流量控制 調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。 本流量控制器利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱 傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，即熱分布式流量計(jì)。 采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度 壓力的影響。將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓 進(jìn)行比較，用所得的差值信號(hào)去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門，通過閉環(huán)，去控 制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。 分流器在主通道和毛細(xì)管間產(chǎn)生層流，控制輸出的流量檢測(cè)電壓與流 過通道的流量成比例。
氣體質(zhì)量流量控制器能夠在半導(dǎo)體制造、生物制藥、能源化工等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)高精度、高可靠性的流量控制，是現(xiàn)代工業(yè)自動(dòng)化系統(tǒng)的核心部件之一。
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