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配氣儀、混氣儀、氣體濃度配比裝置的工藝

閱讀:38發(fā)布時(shí)間:2026-2-11

配氣儀、混氣儀、氣體濃度配比裝置他的功能都是實(shí)現(xiàn)多組分氣體的混合輸出,叫法不一樣,但是工藝原理都是一樣的。都是利用高精度氣體質(zhì)量流量控制器對(duì)每組份氣體進(jìn)行精密控制流量實(shí)現(xiàn)不同濃度的配比,達(dá)到測(cè)量和控制范圍50倍、500倍、1000倍、至10000的稀釋范圍。其核心目標(biāo)是實(shí)現(xiàn)高精度、穩(wěn)定、可重復(fù)的氣體混合。

LFIX混氣儀通過(guò)質(zhì)量流量控制器(MFC)或比例閥控制多組分氣體流量,實(shí)現(xiàn)ppm至百分比級(jí)濃度混合。氣體混配器支持程序化調(diào)節(jié)濃度、流量,部分設(shè)備可聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程操作。實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并存儲(chǔ)濃度、流量、壓力等參數(shù)。采用質(zhì)量流量控制原理:由質(zhì)量流量傳感器、熱式原件、質(zhì) 量流量調(diào)節(jié)閥和壓力檢測(cè)組件等組成,它利用體混配器的流動(dòng)的流體不同的流量 效應(yīng)而制成,其原理是采用量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量,并分別 控制各自氣體的流量,進(jìn)入混合器進(jìn)行精密混合,將混合后的氣體按 需輸出給用氣點(diǎn),同時(shí)設(shè)備自帶多種測(cè)量原件對(duì)氣體進(jìn)行檢測(cè),保證 混合的精確性。

LFIX混氣儀 準(zhǔn)確可靠的測(cè)量和控制氣體質(zhì)量流量,測(cè)量和控制精度高、零飄 小,測(cè)量和控制范圍寬,測(cè)量和控制的準(zhǔn)確度不受環(huán)境溫度和外界壓 力的影響,廣泛的應(yīng)用于真空鍍膜設(shè)備、半導(dǎo)體工藝設(shè)備、化學(xué)化工 實(shí)驗(yàn)設(shè)備、分析儀器、冶金材料工程、能源動(dòng)力、傳感器研究等各領(lǐng)域.

 


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