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配氣儀的配氣類型有幾種,如質量流量型、滲透管型、分流稀釋型、靜態(tài)稀釋法。其中質量流量型是應用行業(yè)最多的。質量流量控制法原理是通過MFC精確控制各組分氣體的流量。在混合室中均勻混合后輸出。

質量流量控制法實時配氣儀能動態(tài)調節(jié)氣體流量,采用熱式或壓差式原理,線性誤差極小。通過串聯(lián)稀釋閥實現(xiàn)ppb級低濃度配氣(如1 ppb NO?)。實時修正環(huán)境溫壓變化對流量的影響。覆蓋0.01 mL/min(微量)至100 L/min(工業(yè)級)。支持從痕量(ppb)到高濃度(99%),如配制10 ppb H?S或50% O?/N?混合氣。支持4~16種氣體同時混合(如O?/N?/CO?/Ar)??商幚砀g性(如HCl)、易燃(如H?)、毒性(如CO)氣體(需特殊材質管路)。程序自動化預設濃度梯度,自動切換參數(shù)(如模擬大氣污染變化)。集成氣體分析模塊(如紅外、激光光譜),閉環(huán)控制輸出濃度。存儲配氣參數(shù),支持USB/云端導出。內置壓力傳感器和報警功能。流量異常時自動切斷氣源。


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