質(zhì)量流量控制器是采用感熱式測量，通過分體分子帶走的分子質(zhì)量多少從而來測量流量，因為是用感熱式測量，所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結(jié)果。動態(tài)配氣法是將已知濃度的原料氣，以較小的流量，恒定不變地送入氣體混合室中，再通過混合室，同時將凈化過的潔凈氣體以較大的流量恒定不變地與原料氣混合稀釋。稀釋后的混合氣連續(xù)不斷地從混合室流出供使用。準(zhǔn)確計量原料氣流和稀釋氣流之比可得稀釋倍數(shù)?；旌蠚獾臐舛瓤珊唵蔚貜南♂尡稊?shù)計算出來，調(diào)節(jié)氣流比可以得到所需濃度的標(biāo)準(zhǔn)氣體。
流體的體積是流體溫度和壓力的函數(shù)，是一個因變量，而流體的質(zhì)量是一個不隨時間、空間溫度、壓力的變化而變化的量。質(zhì)量流量控制器是不能控制流量的，它只能檢測液體或者氣體的質(zhì)量流量，通過模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。但是，質(zhì)量流量控制器，是可以檢測同時又可以進(jìn)行控制的儀表。質(zhì)量流量控制器本身除了測量部分，還帶有一個電磁調(diào)節(jié)閥或者壓電閥，這樣質(zhì)量流量控制本身構(gòu)成一個閉環(huán)系統(tǒng)，用于控制流體的質(zhì)量流量。
自動配氣裝置設(shè)備較復(fù)雜，但可獲得連續(xù)的標(biāo)準(zhǔn)氣，若稀釋氣經(jīng)過嚴(yán)格處理，標(biāo)氣的空白值很低。用連續(xù)稀釋法可配置低濃度的標(biāo)氣，同一種設(shè)備可配置不同的標(biāo)氣。所以質(zhì)量流量計是自動配氣裝置的基礎(chǔ)，動態(tài)配氣儀是質(zhì)量流量計的升級版。動態(tài)配氣儀即可做單路的質(zhì)量流量計來使用，也可以動態(tài)配氣，使用更多元化，適用于對氣體流量測控有多重要求的客戶。
