質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門，閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程，在工作的過程當(dāng)中，控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降，即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1～0.5MPa，若壓差低于值(0.1MPa)，有可能控制達(dá)不到滿量程值;若高于值(0.5MPa)，有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于設(shè)定值。用戶使用MFC時(shí)，無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓，應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi)，并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。質(zhì)量流量計(jì)，即Mass Flow Meter(縮寫為MFM),是一種精確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償。
質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller(縮寫為MFC),不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。簡單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置,是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。要特別注意工作介質(zhì)的氣壓，應(yīng)注意使本產(chǎn)品進(jìn)出氣口兩端的工作壓差保持在指標(biāo)范圍之內(nèi)。工作壓差不在規(guī)定的范圍內(nèi)，流量將無法關(guān)閉或調(diào)小。在使用大流量的質(zhì)量流量控制器時(shí)，要注意適當(dāng)加粗管道和減小氣源內(nèi)阻，若工作壓差小于要求值，有可能流量達(dá)不到滿量程值。
質(zhì)量流量計(jì)，即為Mass Flow Meter（縮寫為MFM），只能檢測氣體的瞬時(shí)流量，不能自動(dòng)控制氣體流量。工作時(shí)無需考慮工作壓差的問題。
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