日常中我們常見的熱式氣體質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計的表示單位用SCCM和SLM來表示，那它們具體代表的是什么意思呢？聽聽萊峰科技的專業(yè)解答。
sccm：標準毫升/分鐘；slm：標準升/分鐘
標準狀況：溫度--273.15K(0℃) 壓力--101325Pa（760mmHg）
F.S（Full Scale）表示滿量程
熱式氣體質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計可直接測量氣體的質(zhì)量流量，密度動態(tài)檢測，不需要補償，還可直接測體積流量，而體積流量計，只能直接測體積流量，如要測質(zhì)量流量如果在組態(tài)時給一個固定的密度值，這樣就不能動態(tài)檢測密度，精度差一點。質(zhì)量流量控制器/流量計測量氣體是不受溫度、壓力影響。質(zhì)量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，可根據(jù)實際需要進行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值的誤差范圍。
萊峰生產(chǎn)的熱式氣體質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計廣泛用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細管測量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工，冶金，制藥等。
