熱式氣體質(zhì)量流量控制器可廣泛應(yīng)用于各種氣體的質(zhì)量流量和標(biāo)況流量測量,無需溫壓補(bǔ)償，測量的準(zhǔn)確度高，響應(yīng)速度快。市面上常規(guī)的氣體質(zhì)量流量控制器的耐壓范圍一般為：1MPa、3MPa、10MPa。
差壓的氣體質(zhì)量流量控制器的耐壓程度一般為1MPa，差壓式(也稱節(jié)流式) 流量計(jì)是基于流體流動(dòng)的節(jié)流原理，利用流體流經(jīng)節(jié)流裝置時(shí)產(chǎn)生的壓力差而實(shí)現(xiàn)流量測量的。它是目前生產(chǎn)中測量流量，的方法之一。通常是由能將被測流量轉(zhuǎn)換成壓差信號(hào)的節(jié)流裝置和能將此壓差轉(zhuǎn)換成對應(yīng)的流量值顯示出來的差壓計(jì)以及顯示儀表所組成。在單元組合儀表中，由節(jié)流裝置產(chǎn)生的壓差信號(hào)，經(jīng)常通過差壓變送器轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)(電的或氣的)，以供顯示、記錄或控制用。
熱式的氣體質(zhì)量流量控制器的耐壓程度有常規(guī)的3MPa，也有專門的耐高壓型的產(chǎn)品：10MPa。耐壓程度為3MPa的氣體質(zhì)量流量控制器能滿足市面上大部分的客戶使用，本公司特別推出了適合使用壓力較高的耐高壓型氣體質(zhì)量流量控制器，耐高壓型的產(chǎn)品能滿足客戶對產(chǎn)品耐壓的要求，但是耐高壓型的產(chǎn)品在滿足了壓力的情況下，流量量程就不能做到很大，流量只能做到在滿量程的情況下達(dá)到30升每分鐘。
在使用熱式氣體質(zhì)量流量控制器時(shí)，工作壓差范圍通常為0.1～0.5MPa，若壓差低于值(0.1MPa)，有可能控制達(dá)不到滿量程值;若高于值(0.5MPa)，有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于設(shè)定值。用戶使用MFC時(shí)，無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓，應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi)，并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。
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