氣體質(zhì)量流量控制器/流量計用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工業(yè)設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
氣體質(zhì)量流量控制器/流量計通道采用的材料為：SUS 316L、氟橡膠、丁晴等耐腐蝕材料。在用戶系統(tǒng)無汽水、低泄漏、勤清洗、使用得當(dāng)?shù)臈l件下，可以用于控制一般的腐蝕性氣體。其他使用強(qiáng)腐蝕性氣體或有機(jī)溶劑氣體時，應(yīng)在訂貨時聲明，使用的特殊腐蝕性氣體，所有的密封材料都要做相應(yīng)的改變。
本公司生產(chǎn)的氣體質(zhì)量流量控制器/流量計在安裝時保持水平安裝，但對安裝位置并不是特別敏感，可以任意位置安裝，非水平位置安裝時若發(fā)現(xiàn)零點(diǎn)偏移，可以調(diào)整零點(diǎn)后在工作。
本氣體質(zhì)量流量控制器/流量計出廠通常用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。如果要求用使用氣體標(biāo)定的話，只需在訂貨時提前與銷售人員溝通即可，我們可以按照客戶的實際使用介質(zhì)來標(biāo)定產(chǎn)品，用氮?dú)鈽?biāo)定的流量控制器用戶使用其他氣體時，可以通過氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)進(jìn)行換算。具體的換算方式可以咨詢本公司技術(shù)人員。
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