熱式氣體質(zhì)量流量控制器在使用的時候,不可避免的會出現(xiàn)零點漂移的問題。當出現(xiàn)零點問題時,可用萊峰科技提供的電纜線將氣體質(zhì)量流量控制器與顯示儀或其他二次儀表連接,充分預熱15分鐘后觀察零點是否歸零,如果不歸零可以通過調(diào)節(jié)氣體質(zhì)量流量控制器的調(diào)零電位器(在MFC進氣口側(cè)面)進行調(diào)零。數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器可以通過軟件進行調(diào)零,待零點穩(wěn)定后打開氣源,再設定用戶所需要的流量值。
氣體質(zhì)量流量控制器安裝通常為水平安裝,如客戶需要任意安裝,可
向廠家說明,廠家將按照用戶的安裝方式進行標定。本氣體質(zhì)量流量控制器的電磁調(diào)節(jié)閥只起流量調(diào)節(jié)作用,不可當截止閥使用,因此當氣體質(zhì)量流量控制器不工作時,切斷氣源,將閥控開關(guān)置于清洗檔位,確保氣體質(zhì)量流量控制器管道內(nèi)無壓力。本氣體質(zhì)量流量控制器可用于控制一般的腐蝕性氣體,但要求用戶確保系統(tǒng)低泄漏、不發(fā)生凝結(jié)反應、無微粒、無水汽、及時清洗、正確使用。正常使用時應保證進出氣兩端的壓差在技術(shù)指標范圍之內(nèi),低于或高于正常工作壓差都可導致氣體質(zhì)量流量控制器工作不正常。
注意:調(diào)零時流量控制器中不得通氣
調(diào)零必須在開機預熱15分鐘以后進行,以待控制器零點的穩(wěn)定,除調(diào)零單位器外,不得輕易調(diào)整其他電位器。