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氣體質(zhì)量流量控制器/氣體流量計在航空航天行業(yè)中的使用情況

閱讀:56發(fā)布時間:2026-2-25

   隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,越來越多的氣體質(zhì)量流量控制器在航空航天事業(yè)中廣泛應(yīng)用。四川萊峰流體設(shè)備制造有限公司主要是生產(chǎn)熱式氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計為主的廠家,LF系列的小中大流量量程的熱式氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計在各行各業(yè)中都廣泛使用,特別是近幾年在航空航天中使用得非常多。
   熱式氣體質(zhì)量流量控制器在實(shí)際使用中發(fā)現(xiàn),當(dāng)輸入的氣體不同時控制顯示的數(shù)值與實(shí)際不符,其實(shí)原因很簡單,因?yàn)樵贛FC行業(yè)中,有一種參數(shù)叫CF,即氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)。而MFC行業(yè)中又把N2(氮?dú)猓┒x為標(biāo)準(zhǔn)氣體。N2的C值為1.00,其他的氣體以氮?dú)鉃橹行?,分布?.1到1.4左右。
CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Ar(氬)、Kr(氪)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02(氧氣)、H2(氫氣)、F2(氟)等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話,簡單的分析其比率,用各自的CF值計算即可。假設(shè)MFC是用N2標(biāo)定的,但是實(shí)際流過的氣體是He,實(shí)際的流量比N2多。各個廠家的He的CF值稍有不同,但大約都在1.4,所以簡單的說就是He氣相同示數(shù)時,是N2的1.4倍流量。反過來,如果N2流過He的MFC,實(shí)際的流量大約是1÷1.4=約0.71,少30%的流量,因此控制器發(fā)現(xiàn)流量不準(zhǔn)時,考慮出廠標(biāo)定CF是否與你的氣源相同。
    LF系列的熱式氣體質(zhì)量流量 控制器是由質(zhì)量流量傳感器,層流分層件,流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大控制電路組成,采用數(shù)字信號或模擬信號輸入輸出,具有預(yù)熱時間短,零漂小,可靠性高等特點(diǎn)。

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