熱式氣體質(zhì)量流量控制器的集成控制閥主要是用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。在擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中使用。并廣泛用于石油化工、冶金、制藥等。
熱式氣體質(zhì)量流量控制器它通常由電路板、傳感器、進(jìn)出氣管道接頭、分流器管道、機(jī)殼、調(diào)節(jié)閥等部件組成。用戶在實(shí)際使用中發(fā)現(xiàn)，氣體質(zhì)量流量控制器或流量計(jì)當(dāng)輸入的氣體不同時(shí)控制顯示的數(shù)值與實(shí)際不符，其實(shí)原因很簡(jiǎn)單，因?yàn)樵贛FC行業(yè)中，有一種參數(shù)叫CF，即氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)（下面簡(jiǎn)稱CF）。而MFC行業(yè)中又把N2（氮?dú)猓┒x為標(biāo)準(zhǔn)氣體。N2的C值為1.00，其他的氣體以氮?dú)鉃橹行模植荚?.1到1.4左右。為了方便用戶使用，萊峰流體一般會(huì)按照用戶的實(shí)際使用介質(zhì)標(biāo)定氣體質(zhì)量流量控制器或是流量計(jì)，如果是在使用過程中想轉(zhuǎn)換使用的介質(zhì)，可以按照氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)進(jìn)行換算。或是使用氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)發(fā)現(xiàn)流量不準(zhǔn)時(shí)，考慮出廠標(biāo)定是否與你的氣源相同。
LF系列的氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)通過特殊工藝密封在316L不銹鋼管或抗酸、堿腐蝕的特種材料管中制成，因此極為堅(jiān)固，并不會(huì)污染被測(cè)流體或受被測(cè)流體污染，且其抗腐蝕性能很好。
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