四川萊峰流體生產的LF485系列的數(shù)字式氣體質量流量控制器,目前可選的通訊方式為:RS485 MODBUS RTU協(xié)議和RS232通訊兩種方式,數(shù)字通訊的氣體質量流量控制器常規(guī)耐壓可達3Mpa,也可選10Mpa。LF系列的氣體質量流量控制器和質量流量計主要用于:擴散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入以及真空鍍膜設備、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)等制造設備中,并廣泛應用于石油化工、制藥、冶金等行業(yè)。
數(shù)字式氣體質量流量計,包括流量計傳感器、流量比例閥門,目前市面上的熱式氣體質量流量控制器種類復雜繁多,有毛細管傳熱的、芯片式傳熱的流量控制器區(qū)別。本公司生產的熱式氣體質量流量控制器的傳感器均采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度和壓力補償),精度等級高,響應速度快,質量流量測量穩(wěn)定等優(yōu)點。氣體質量流量控制器/流量計通道采用的材料為:SUS 316L、氟橡膠、丁晴等耐腐蝕材料。在用戶系統(tǒng)無汽水、低泄漏、勤清洗、使用得當?shù)臈l件下,可以用于控制一般的腐蝕性氣體。其他使用強腐蝕性氣體或有機溶劑氣體時,應在訂貨時聲明,使用的特殊腐蝕性氣體,所有的密封材料都要做相應的改變。
LF485-S系列的氣體質量流量控制器,可以測量的范圍從2毫升每分鐘——30升每分鐘;LF485-B系列的氣體質量流量控制器可以測量的范圍從30升每分鐘——300升每分鐘;LF2000-D系列的氣體質量流量控制器可以測量的范圍是300——3000升每分鐘。