半導(dǎo)體8寸，128寸ET4000臺(tái)階儀日本KOSAKA小坂微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)
半導(dǎo)體8寸，128寸ET4000臺(tái)階儀日本KOSAKA小坂微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)商品描述
株式會(huì)社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創(chuàng)立的公司，也是日本一家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì)，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的業(yè)廠商,主要有測(cè)定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測(cè)定部門為具代表性單位且在日本精密測(cè)定業(yè)占有一席無(wú)法被取代的地位。
產(chǎn)品概述：
● 高精度．安定性．機(jī)能性**適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細(xì)形狀、段差、粗度測(cè)定的機(jī)型。
● 是多機(jī)能的全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)，針對(duì)用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇。
● ET4000A/ ET4000AK一可實(shí)現(xiàn)2D/3D表面形狀測(cè)量。
● ET4000M一高性能的泛用微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)。
● ET4000L一對(duì)應(yīng)大型工件的全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)。
● ET4300一適合12"樣品測(cè)量。
●各機(jī)型詳細(xì)參數(shù)請(qǐng)與區(qū)域銷售聯(lián)系。
臺(tái)階儀/膜厚儀ET4000系列產(chǎn)品參數(shù)
*大試片尺寸重現(xiàn)性測(cè)定范圍分解能測(cè)定力
210×210mm~300×400mm
1σ 0.5nm以內(nèi)
Z:100um X:100～305mm (Y移動(dòng)量:150~400mm)
Z:0.1nm X:0.1um
0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)
半導(dǎo)體8寸，128寸ET4000臺(tái)階儀日本KOSAKA小坂微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)，半導(dǎo)體8寸臺(tái)階儀日本KOSAKA小坂，128寸臺(tái)階儀日本KOSAKA小坂ET4000臺(tái)階儀日本KOSAKA小坂微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)，半導(dǎo)體8寸，128寸ET4000臺(tái)階儀KOSAKA小坂微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)，半導(dǎo)體8寸臺(tái)階儀日本KOSAKA小坂，128寸臺(tái)階儀KOSAKA小坂ET4000臺(tái)階儀日本KOSAKA小坂微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)
會(huì)員1.png)