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日本tokkyokiki特許機器株式會社-半導體減振設備

閱讀：66發(fā)布時間：2024-9-28

日本tokkyokiki特許機器株式會社-半導體減振設備


氣浮式隔振桌 EHS/DHS/DAS/SRD/SVD


日本tokkyokiki特許機器在以半導體產(chǎn)業(yè)為代表的超精密加工領域，制造、檢查、測試的精度已進入了納米和埃米量級。準確的把握住時代需求，OS氣浮式隔振桌系列為微納振動提供隔振空間。
我們擁有豐富的產(chǎn)品系列，可對應與半導體、液晶玻璃基板大口徑化、基板大型化相關的檢查設備大型化、重型化。
與制造檢驗生產(chǎn)線相匹配的簡約設計，各種選項配件，可**的構(gòu)成整個系統(tǒng)。

日本tokkyokiki特許機器——隔振桌EHS滿足超精密檢查/測試儀器隔振需求的高性能隔振桌
日本tokkyokiki特許機器——隔振桌DHS
DHS系列是EHS系列產(chǎn)品上裝有蓋罩的型號。操作時可不必擔心碰到上浮部件。
日本tokkyokiki特許機器——隔振桌DAS光學顯微鏡/粗糙度儀等　也可適用于大載荷
日本tokkyokiki特許機器——隔振桌SRD/SVD顯微鏡/粗糙度儀等　簡單放置



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日本tokkyokiki特許機器株式會社




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