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行業(yè)產(chǎn)品

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深圳市儀勤科技有限公司


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反映離子刻蝕機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地

聯(lián)系方式：羅先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2025-08-07 07:24:32瀏覽次數(shù)：249次

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經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：164條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：羅先生 （銷售工程師）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

RIE-24000反應(yīng)離子刻蝕機(jī)(帶Load_Lock裝置)采用PLC控制，觸摸顯示屏操作

詳細(xì)介紹

RIE-24000反應(yīng)離子刻蝕機(jī)(帶Load_Lock裝置) 采用PLC控制，觸摸顯示屏操作。其數(shù)字化參數(shù)界面和自動(dòng)化操作方式為用戶提供了優(yōu)良的研發(fā)和生產(chǎn)平臺(tái)。
本設(shè)備通過(guò)對(duì)真空系統(tǒng)、下游壓力閉環(huán)控制、射頻電源、氣體流量及工藝過(guò)程的全自動(dòng)控制，以及所具有的安全互鎖、智能監(jiān)控、在線狀態(tài)記憶、斷點(diǎn)保護(hù)等功能。使設(shè)備的安全性、重復(fù)性、穩(wěn)定性、可靠性得到有效保證。
產(chǎn)品主要性能指標(biāo)：
型號(hào)RIE-24000
真空系統(tǒng)進(jìn)樣室：機(jī)械泵系統(tǒng)；刻蝕室：分子泵機(jī)組
樣品尺寸500×400mm
刻蝕材料SiO2、Si3N4等
刻蝕不均勻性≤ ±5%
自動(dòng)化程度真空系統(tǒng)、機(jī)械手送/取樣片、下游壓力閉環(huán)控制、射頻電源、氣體流量、工藝過(guò)程全自動(dòng)控制。
人機(jī)界面Windows環(huán)境、觸摸屏操作
操作方式全自動(dòng)方式、非全自動(dòng)方式
配套件選配可選擇進(jìn)口件或國(guó)產(chǎn)件
送/取樣片方式機(jī)械手自動(dòng)送/取片


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