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行業(yè)產(chǎn)品

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北京七星華創(chuàng)流量計有限公司


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CS200質量流量控制器&流量計 控制閥

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式：王昭查看聯(lián)系方式

更新時間：2026-03-23 12:32:03瀏覽次數(shù)：568次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：36條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：王昭 （市場總監(jiān)）

產(chǎn)品簡介

CS200氣體質量流量控制器，采用*傳感器和溫度補償技術，因此產(chǎn)品精度可以達到設定值1%以內，并且低溫度系數(shù)可以保證產(chǎn)品適應不同的環(huán)境溫度。同時，產(chǎn)品采用高速控制算法使整個流量計的響應時間方面更加岀色。全量程范圍內，CS200C產(chǎn)品可在800ms以內達到設定流量，響應時間將使用過程中產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差最小化，所需流量更加精準。

詳細介紹

優(yōu)勢

• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現(xiàn)象，保證了傳感器線性。

• CS200C產(chǎn)品采用專門的金屬表面處理技術，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS200C產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達10RA以下，CS200D產(chǎn)品金屬表面粗糙度可達25RA。

• CS200產(chǎn)品嚴格按照SEMI標準生產(chǎn)制造，尺寸符合通用的SEMI標準。

• CS200系列產(chǎn)品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數(shù)字，模擬輸入輸出。

• 產(chǎn)品支持RS485，DeviceNet通訊方式。

• 具有多氣體多量程功能、自動歸零功能、報警功能、軟啟動功能、延遲功能及功能*的免費客戶端使用軟件。

技術參數(shù)

CS200

型號

CS200-A

CS200-C

CS200-D

閥類型

常開(流量規(guī)格 ≤ 30SLM)
或常閉

無

常開或常閉

無

常開或常閉

無

流量規(guī)格(N2)

(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM

準確度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(＜35% F.S.)

線性

±0.5% F.S.

重復精度

±0.2% F.S.

響應時間

≤ 1sec

≤ 0.8sec

工作壓差范圍

0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM
0.1～0.35MPa 10＜流量規(guī)格≤30SLM
0.2～0.45MPa 30＜流量規(guī)格≤50SLM

＜0.02 MPa

0.05～0.35MPa
流量規(guī)格≤10SLM
0.1～0.35MPa
流量規(guī)格＞10SLM

＜0.02 MPa

0.05～0.35MPa
流量規(guī)格≤10SLM
0.1～0.35MPa
流量規(guī)格＞10SLM

＜0.02 MPa

工作壓力

0.45MPa

溫度系數(shù)

零點： ≤±0.05% F.S./℃；
調節(jié)時： ≤±0.1% F.S./℃ 流量規(guī)格≤30SLM
調節(jié)時： ≤±0.2% F.S./℃ 流量規(guī)格＞30SLM

零點： ≤±0.02% F.S./℃；
調節(jié)時： ≤±0.05% F.S./℃

耐壓強度

3MPa

漏率

1×10-10 Pa·m3 / sec He

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材料

氟橡膠

金屬密封

工作環(huán)境溫度

（5～45）℃

（0～50）℃

輸入信號

數(shù)字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus
模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA

無

數(shù)字： RS485
或DeviceNet
或 ProfiBus
模擬：(0～5)VDC
或(4～20)mA
或(0～20)mA

無

數(shù)字： RS485
或DeviceNet
或 ProfiBus
模擬：(0～5)VDC
或(4～20)mA
或(0～20)mA

無

輸出信號

數(shù)字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus
模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA

零漂

在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年

電源

±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極)

表面化學成分

常態(tài)

Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 （埃）

常態(tài)

表面粗糙度

25 Ra

10 Ra

25 Ra

標準接頭形式

雙卡套 φ6；雙卡套 1/4´´；雙卡套 3/8´´；VCR1/4´´陽接頭；雙卡套φ3；
雙卡套 1/8´´；VCO 1/4";φ6(內)x1 軟管接頭; φ5(內)x1.5 軟管接頭；
φ4(內)x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm；A 型密封接頭;

雙卡套φ3；雙卡套φ6；雙卡套 1/4；VCR1/4 陽接頭；
1.5´´C 型密封接頭;1.5´´ W型密封接頭

電源接頭形式

D 型 9 針陽接頭；D 型 15 針陽接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭

重量

1 Kg

0.8Kg

1.2Kg

1Kg

1.2Kg

1Kg

 

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關鍵詞：標準 軟啟動
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