ZH9700測(cè)量系統(tǒng)采用電渦流技術(shù)在不接觸目標(biāo)的情況下測(cè)量位移。非常適合需要高分辨率和高性價(jià)比的應(yīng)用。ZH9700系統(tǒng)采用本公司的基于相位域檢波以及脈寬調(diào)制平滑濾波技術(shù)、配合表面貼裝元件以及合理的印刷電路板設(shè)計(jì)，只需要簡(jiǎn)單的低功耗單電源供電 ，消除了傳統(tǒng)線性放大器的噪聲，從而將位置/運(yùn)動(dòng)分辨到納米級(jí)別、甚至埃米級(jí)亞原子尺寸。
通過(guò)在線性度和分辨率上進(jìn)行權(quán)衡，ZH9700的量程可以超過(guò)傳感器探頭直徑的50%。一般來(lái)說(shuō)，線性度系統(tǒng)熱穩(wěn)定性不會(huì)；要獲得熱穩(wěn)定性將犧牲傳感器的線性度。如果對(duì)傳感器的非線性參數(shù)特別關(guān)注，通常情況下，對(duì)于非磁性測(cè)量目標(biāo)，滿足0.05%滿刻度輸出（FS/°C）的熱穩(wěn)定性時(shí)，在測(cè)量范圍約等于傳感器探頭直徑10%的位置時(shí)其非線性度將降低至1%。在這個(gè)范圍內(nèi)，如果需要達(dá)到線性，如果溫度穩(wěn)定性要求降低時(shí) （標(biāo)準(zhǔn)溫度系數(shù)=0.05% FS/°C）、系統(tǒng)的非線性度可調(diào)節(jié)到小于1% 。同樣，如果溫度是更關(guān)鍵的參數(shù)，在這個(gè)溫度范圍內(nèi)系數(shù)可調(diào)節(jié)低至0.01% FS/°C，而此時(shí)傳感器的非線性通常增加到±3%。 可提供五階多項(xiàng)式曲線擬合線性系數(shù)供客戶處理器使用，以達(dá)到大約0.01% FS的線性性能。
通常，在設(shè)計(jì)周期的早期考慮時(shí)，這些權(quán)衡很容易通過(guò)測(cè)量量程、傳感器尺寸和目標(biāo)材料的正確選擇進(jìn)行管理。通過(guò)計(jì)算機(jī)建模，我們可以為您提供應(yīng)用程序的規(guī)范。同時(shí)，我們提供傳感器和電子設(shè)備的初步機(jī)械外形圖紙，安裝規(guī)定、操作和存儲(chǔ)溫度以及其他參數(shù)。
基于特殊的傳感器檢測(cè)原理，ZH9700系列電渦流位移傳感器是所有不同原理的電渦流位移傳感器中的動(dòng)態(tài)分辨率大于靜態(tài)分辨率的傳感器，這個(gè)特點(diǎn)對(duì)于微振檢測(cè)具有巨大的優(yōu)勢(shì)！
主要技術(shù)指標(biāo)：
埃米級(jí)超高分辨率（1納米=10埃米,1nm=10?m）
高信噪比：1PPM
高精度：采用計(jì)算機(jī)進(jìn)行線性糾正，精度可達(dá)0.1% FS
多種通道選擇：?jiǎn)瓮ǖ?、雙通道、三通道、四通道多種配置
探頭選擇：多種規(guī)格探頭，適合OEM定制
探頭電纜規(guī)格：2米（特殊要求除外），RG178柔性同軸電纜
量程：0.5mm～4mm
供電電源：+12～+30V DC ＜ 15mA/每通道
頻率響應(yīng)：DC~10KHz（-3dB）
信號(hào)輸出模式： 0～5V -5V～5V（可選）
非線性：≤±10%，＜0.1%（當(dāng)采用五階多項(xiàng)式擬合時(shí)）
目標(biāo)靶材質(zhì)：純鋁（特殊材質(zhì)除外）
靜態(tài)分辨率：最小5nm
動(dòng)態(tài)分辨率：最小0.5nm
工作溫度范圍：建議恒溫環(huán)境使用
主要應(yīng)用范圍：
精密加工和磨削
主軸徑向/軸向跳動(dòng)
主軸膨脹
鏡面對(duì)準(zhǔn)
光學(xué)級(jí)定位
計(jì)量測(cè)量等
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