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行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品

鄭州科佳電爐有限公司


CVD系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)KJ-T1600-CVD

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地鄭州市

聯(lián)系方式：韓金杰查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2026-03-10 07:46:41瀏覽次數(shù)：204次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹：該設(shè)備由蒸發(fā)器、混合器和反應(yīng)器組成

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹：
    該設(shè)備由蒸發(fā)器、混合器和反應(yīng)器組成。采用氧化鋁纖維耐火材料。設(shè)備技術(shù)成熟、質(zhì)量可靠，溫場(chǎng)均勻，結(jié)構(gòu)合理，30段可編程溫控系統(tǒng)，氣路選用液晶屏觸摸界面，使得操作異常簡(jiǎn)單、方便設(shè)備的各項(xiàng)技術(shù)參數(shù)。
 
應(yīng)用范圍：
    廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料等的鍍膜，該設(shè)備可在目標(biāo)材料表面形成密集的HfCl4涂層.適用于各大高校材料實(shí)驗(yàn)室、科研院所、環(huán)?？茖W(xué)等領(lǐng)域。
 
產(chǎn)品參數(shù)：
 

產(chǎn)品名稱 CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào) KJ-T1600-CVD
部分： 定制坩堝爐（蒸發(fā)系統(tǒng)）
使用溫度 超過(guò)500℃
工作區(qū)尺寸 Φ150 x H320mm（不銹鋼內(nèi)膽的有效尺寸）
坩堝 310S不銹鋼，形式及具體要求與客戶確認(rèn)
加熱元件 電阻絲
升溫速率 0-20°C/min
漏率 20Pa/min
第二部分：定制小管式爐（混氣系統(tǒng)）
使用溫度 超過(guò)500℃
工作區(qū)尺寸 Φ150 x H200mm（不銹鋼內(nèi)膽尺寸）
混氣罐 310S 不銹鋼
加熱元件 電阻絲
漏率 20Pa/min
第三部分  1600度管式爐（反應(yīng)器）
溫度 1600℃
長(zhǎng)期工作溫度 1500℃
爐管尺寸 OD100/ID90,加熱區(qū)300mm
爐管材質(zhì) 高純氧化鋁管
加熱元件 硅鉬棒
漏率 20Pa/min
真空度 抽真空度到-7*10-3Pa
壓力范圍不超過(guò)0.02MPa
更多參數(shù)可根據(jù)需求定制

 

 

 

 1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。

 

 


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