響應(yīng)式氣體流量控制，抑制壓力波動(dòng)

性能的質(zhì)量流量控制器只需將流量保持在您的設(shè)定值。艾里卡特MC系列氣體質(zhì)量流量控制器可快速達(dá)到新的設(shè)定值，并保持該設(shè)定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門和PID調(diào)節(jié)功能，確保相關(guān)產(chǎn)品能快速實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定控制。

• 多功能。監(jiān)控流速的同時(shí)控制壓力；可選擇另一臺(tái)已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。
• 連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項(xiàng)，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
• 耐用?？稍诓皇軗p的情況下讓液體暫時(shí)流動(dòng)。為保證對(duì)環(huán)境影響的耐受性，我們可為您的MFC構(gòu)建IP66等級(jí)防護(hù)。

更多產(chǎn)品信息請(qǐng)查看質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器。

• Specs
• 定制
• 零件編號(hào)
• Applications

性能

• 可用量程：大0-5000 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽）
• 可調(diào)比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
• 標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
• 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
• 可重復(fù)性：0.2%滿量程
• 標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
• 無(wú)需預(yù)熱時(shí)間

工作條件

• 兼容氣體：98（MC系列）或130（MCS系列）種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
• 工作溫度：-10°C至+60°C
• 大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
• 耐受壓力：175 psig（190 psia）

包裝清單

• MC系列氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購(gòu)）
• NIST可溯源校準(zhǔn)證書
• 艾里卡特操作說(shuō)明書

配件（需另行訂購(gòu)）

• 過(guò)程端口接頭和過(guò)濾器
• 電源
• 通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
• BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒
• Flow Vision軟件