質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門，閥門能使通過(guò)控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿量程，在工作的過(guò)程當(dāng)中，控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降，即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1～0.3MPa，若壓差低于值(0.1 MPa)，有可能控制達(dá)不到滿量程值;若高于值(0.3MPa)，有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時(shí)，無(wú)論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓，應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi)，并且要求氣壓要相對(duì)穩(wěn)定。
部分用戶使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽做氣源，氣壓很低，用普通MFC，不能正常工作。這時(shí)用戶需要向供貨商特別聲明，定制低壓降的質(zhì)量流量控制器。通?？梢远ㄖ乒ぷ鲏翰畹陀?.01MPa的MFC，這時(shí)MFC的工作壓差范圍，也會(huì)變小。注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽時(shí)，不能讓汽化物在MFC中結(jié)露，結(jié)露會(huì)影響MFC的正常工作。為了防止結(jié)露，可以對(duì)管路和MFC適當(dāng)加溫，但MFC的工作環(huán)境溫度通常不得超過(guò)50℃。如果用戶要MFC的工作環(huán)境溫度超過(guò)65℃以上，需要特殊購(gòu)買高溫MFC產(chǎn)品。
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