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西安華恒儀表制造有限公司

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擴(kuò)散硅壓力變送器運(yùn)作原理及兩種形式說明

閱讀：379發(fā)布時(shí)間：2022-10-1

　　擴(kuò)散硅壓力變送器也稱為稱作壓力傳感器，具有工作可靠、性能穩(wěn)定、安裝使用方便、體積小、重量輕、性能價(jià)格比高等點(diǎn)，能在各種正負(fù)壓力測(cè)量中得到廣泛應(yīng)用。其運(yùn)行原理是根據(jù)其被測(cè)介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷)，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻值發(fā)生變化，和用電子線路檢測(cè)這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào)。簡單步驟即為（被側(cè)介質(zhì)--->傳感器--->電子線路--->輸出信號(hào)）。

　　擴(kuò)散硅壓力變送器的兩種形式

　　一種是在膜片后面放一塊擴(kuò)散硅，膜片受壓后擴(kuò)散硅阻值改變，通過測(cè)量阻值并轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)輸出，這種變送器壽命較低，且精度、穩(wěn)定性不太好。沒有差壓類型。

　　另一種是將擴(kuò)散硅結(jié)合在測(cè)量膜片中，組成一個(gè)電橋，以日產(chǎn)EJA系列為例，在雙向受力膜片上開16條槽，植入擴(kuò)散硅，成型后從中挑選4個(gè)參數(shù)一致的組成電橋，工作時(shí)橋臂電阻改變，橋路輸出經(jīng)轉(zhuǎn)換形成標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)輸出。利用電橋原理可以形成的抗漂移、抗外部干擾的能力。工作時(shí)膜片置于不同的腔室中可接受差壓、絕壓、表壓信號(hào)。這種變送器抗力，壽命和精度指標(biāo)都比較高。

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