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行業(yè)產(chǎn)品

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上海東茂電子科技有限公司


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石英管微波等離子體裝置

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號石英管

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地

聯(lián)系方式：周瑜妹查看聯(lián)系方式

更新時間：2018-05-15 15:35:55瀏覽次數(shù)：412次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：31條

所在地區(qū)：浙江

聯(lián)系人：周瑜妹 （銷售經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

石英管微波等離子體裝置

詳細介紹

技術(shù)參數(shù)及特性
1.     反應(yīng)室工作壓強：幾百帕～十千帕
2.     反應(yīng)室極限壓強:  6×10－1帕
3.     反應(yīng)室尺寸：    Φ50mm
4.     微波功率：     0～500W
5.     基片溫控：       200～1000℃
 
 
設(shè)備安裝
1.     安裝環(huán)境要求
1)       供電：  AC220V，50Hz,zui大功率2000W
2)       溫度、濕度、氣源及冷卻水：應(yīng)保障設(shè)備工作穩(wěn)定正常
3)       安裝室：室內(nèi)整潔，空氣流通，無塵埃。
4)       接地線：室內(nèi)具有獨立接地線＜3Ω
2.     安裝程序
1）          確認安裝環(huán)境
2）          檢查設(shè)備良好情況（運輸過程中是否造成損壞）
3）          安裝真空泵、抽氣管道、隔斷閥及其它配件
4）          連接電氣柜至主機各電纜線
5）          確認各電氣部件完好無損
6）          升降雙層水冷支架，確認石英管、基片臺及其它部件完好無損
7）          連接并啟動確認循環(huán)控制冷卻水完好
8）          連接好設(shè)備地線。
 
操作及注意事項
1.       檢查確認設(shè)備各部件完好，連接安全（注意接地）。
2.       接通總電源，打開總電源開關(guān)按鈕，確認冷卻水箱水容量及MTC-2000水冷控制系統(tǒng)（詳細請參照MTC-2000操作說明書）已設(shè)定完成后，打開冷卻水開關(guān)按鈕。
3.       打開隔膜閥，確認氣路連接規(guī)范完好后打開機械泵開關(guān)按鈕，抽真空約5分鐘使本底真空達到所需要求。
4.       開啟流量計開關(guān)，給真空室輸送工作氣源。
5.       開啟高壓開關(guān)按鈕，將陽極電流加載至約15mA，關(guān)閉隔膜閥，調(diào)節(jié)微調(diào)閥使工作氣壓達到所需要求。
6.       調(diào)節(jié)短路活塞及工作平臺高度使裝置穩(wěn)定工作。
7.       試驗結(jié)束時，將陽極電流調(diào)至0，關(guān)閉高壓開關(guān)按鈕，關(guān)閉氣路，關(guān)閉機械泵，關(guān)閉冷卻水，關(guān)閉總電源。
 
 
 


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