微量氧分析儀為檢驗度制程氣體中的微量含氧，以確保制程氣體的度，避免管路泄漏破損滲入大氣中的氧氣破壞制程品質(zhì)，增進制程良率，并依各制程對制程氣體管路含氧量之要求，進行必要之測試設(shè)備。
微量氧的分析方法主要有比色法、黃磷發(fā)光法、化學電池法、濃差電池法和氣相色譜法。
1、比色法是較早采用的分析方法，它是國家標準規(guī)定的方法，利用銅氨溶液進行比色分析，由于操作復(fù)雜，準確度難以保證，并且不能實現(xiàn)自動在線分析，現(xiàn)在已很少采用，不過它還是一種仲裁方法。
2、黃磷發(fā)光法是利用氧氣與黃磷氧化燃燒進行分析，具有分析速度快，可以連續(xù)分析的特點，但該方法采用的黃磷是危險化學品，生成的產(chǎn)物具有腐蝕性，并且檢測限低，所以現(xiàn)在已很少采用。
3、化學電池法指的利用氧化還原電池的原理進行微量氧分析，它的傳感器（檢測器）是化學原電池，主要由一個陰極，一個陽極和電解液組成，以上部件密封于惰性的殼中，被測氣體中的氧進入電池中陰極附近O2得到電子，陽極由金屬鉛制成，失去電子本身被氧化，電池產(chǎn)生的電子由電路引出然后進行補償修正放大，即可測出被測氣體中的氧含量。
4、濃差電池法也稱為氧化鋯電池法，它是利用氧化鋯元件為檢測器的關(guān)鍵部件，以它為主體構(gòu)成測氧電池，包括氧化鋯管及涂制在管底部的鉬電極和電極引線，電極引線可將信號引出；加熱爐用于加熱氧化鋯管，使它恒定在設(shè)定溫度（780±10℃）上；標氣管用于接通標氣，校準探頭；熱電偶用于測量氧電池中的溫度，接入變送器溫控系統(tǒng)；接線板設(shè)有信號、熱電偶和加熱爐三對接線柱，其它還有過濾器、安裝法蘭和探頭外殼。
氧化鋯濃差電池的主要缺點是還原性雜質(zhì)對微量氧的分析有影響。因為在500－800攝氏度的情況下，還原性物質(zhì)可以與氧發(fā)生反應(yīng)，消耗氧使分析結(jié)果偏低,它的主要優(yōu)點是量程范圍寬，可覆蓋常量至微量的氧含量分析，使用方便，使用壽命長。
5.氣相色譜法、進行微量氧分析的優(yōu)勢在于多種雜質(zhì)可以同時檢測，因為空分氣體中的雜質(zhì)分離比較容易，所以色譜柱系統(tǒng)的配置簡單。在進行包含微量氧的多種雜質(zhì)檢測時，選擇色譜分析比較合適。可以選擇的色譜檢測器主要有熱導(dǎo)檢測器、電子捕獲檢測器、氦離子化檢測器、氬離子化檢測器、放電離子化檢測器、原子發(fā)射檢測器（AED）等。
色譜法進行微量氧分析的缺點是無法實現(xiàn)真正意義上的在線分析，就是所不能對微量氧進行實時監(jiān)控，需要間斷的檢測，并且設(shè)備系統(tǒng)復(fù)雜，需要載氣、輔助氣等。
