QMS系列材料放氣分析系統(tǒng)
是為了實(shí)現(xiàn)對(duì)特定材料/產(chǎn)品在特定環(huán)境下的放氣速率測(cè)試而開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品。

QMS系列材料放氣分析系統(tǒng)

例如：

對(duì)空間科學(xué)載荷儀器中電子元器件、電路板材料、運(yùn)動(dòng)部件潤(rùn)滑材料以及其他結(jié)構(gòu)性材料在超高真空環(huán)境中的材料放氣率進(jìn)行測(cè)試，主要用于保證載荷有效運(yùn)行，減少器件和材料放氣累積對(duì)如光學(xué)系統(tǒng)的污染。

對(duì)半導(dǎo)體器件、光刻膠等在特定環(huán)境下的放氣率測(cè)試，用于工藝開(kāi)發(fā)、產(chǎn)品質(zhì)量評(píng)估等。

依據(jù)樣品尺度、真空度/溫度、測(cè)試氣體質(zhì)量數(shù)等要求，QMS具有一系列對(duì)應(yīng)產(chǎn)品，亦可以對(duì)操作軟件進(jìn)行一定程度的定制。