我國X射線光譜分析的發(fā)展?起步于20世紀50年代末。

中科院長春應用化學研究院所等單位先后從蘇聯(lián)引進原級X射線光譜儀。

中科院長春應用化學研究院所

20世紀60年代初

李安模、馬光祖等人著手進行我國臺X射線熒光光譜儀的研制。伺候，相關研究所歐洲和日本等引進商品X射線熒光光譜儀，進行大量應用研究和技術開發(fā)。

20世紀80年代

我國X射線熒光光譜分析研究非?；钴S并取得長足進步，在理論研究，輕元素分析，集體軟件的開發(fā)，國外交流取得巨大進步。

現(xiàn)在

X射線熒光光譜分析應用十分廣泛，研發(fā)和應用工作正緊緊和水平同步進行。

國際上X熒光光譜分析大事記

1895年，倫琴發(fā)現(xiàn)X射線。

倫琴

1908年，巴克拉（C.G.Barkla）和沙特拉（Sadler）發(fā)現(xiàn)物質(zhì)受X射線輻照后會射出和物質(zhì)中組成元素相關的特征譜線。

1912年，勞厄（M.Von Loue）發(fā)現(xiàn)了晶體對X射線的衍射現(xiàn)象，證實了X射線是一種電磁波，具有波動性，并可用晶體作為X射線衍射光柵。

1913年，布拉格父子（W.L.Bragg，W.H.Bragg）建立了布拉格定律。

布拉格父子

1913年，莫塞萊（Moseley）研究了各種元素的特征譜線，發(fā)現(xiàn)了莫塞萊定律，奠定了X射線光譜分析的基礎。

莫塞來

1928年，蓋革（H.Geiger）等提出用充氣計數(shù)管代替照相干板法來進行X射線的測量。

1948年，弗里德曼（H.Friedman）和伯克斯制出臺商品X射線熒光光譜儀。

1966年，勃勞曼（Browman）等將發(fā)射性同位素源和Si(Li)探測器結合使用。

1969年，伯克斯（Birks）等研制出臺能量射線熒光光譜儀。

1971年，報導將全反射技術應用在少量樣品的痕量分析上。

1974年，把偏振技術應用于能量色散X射線熒光分析。