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深圳市萬德泉科技有限公司
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CDG100D電容膜片真空計(jì)-氣壓計(jì)

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產(chǎn)品型號

品       牌

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更新時間：2020-09-14 10:26:53瀏覽次數(shù)：467次

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CDG100D電容膜片真空計(jì)SKY? CDG100D 0.1 ... 1000 托/毫巴INFICON SKY CDG100D 壓力計(jì)是實(shí)現(xiàn)精確總壓測量與控制的理想之選。 CDG100D 真空計(jì)溫度控制在 100 °C，具有的性能，適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過程。 在 100 毫托至 1000 托滿刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口，能夠提供 0 至 10V、不受氣體類型限制的線性壓力信號。 INFICON 電容式壓力計(jì)采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。 陶瓷傳感器具有信號穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復(fù)的速度更快、預(yù)熱時間短和使用壽命長等諸多優(yōu)勢。 INFICON CDG 品質(zhì)，成本效益，適用于苛刻的半導(dǎo)體、等離子和真空應(yīng)用。市場價(jià)： 0.00價(jià)格：0.00產(chǎn)品描述：： 耐腐蝕、100°C 電容式膜片真空計(jì)、0.1 .......

SKY? CDG100D 0.1 ... 1000 托/毫巴

INFICON SKY CDG100D 壓力計(jì)是實(shí)現(xiàn)精確總壓測量與控制的理想之選。 CDG100D
真空計(jì)溫度控制在 100 °C，具有的性能，適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過程。 在 100 毫托至 1000
托滿刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口，能夠提供 0 至 10V、不受氣體類型限制的線性壓力信號。 INFICON
電容式壓力計(jì)采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。 陶瓷傳感器具有信號穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復(fù)的速度更快、預(yù)熱時間短和使用壽命長等諸多優(yōu)勢。 INFICON
CDG 品質(zhì)，成本效益，適用于苛刻的半導(dǎo)體、等離子和真空應(yīng)用。


益處

  • 擁有成本更低，預(yù)熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗
  • 易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標(biāo)配兩個設(shè)定點(diǎn)
  • 輕松一鍵調(diào)零或遠(yuǎn)程信號調(diào)零指令，可調(diào)零點(diǎn)偏移
  • 診斷端口用于快速維修和維護(hù)
  • 兩年保修服務(wù)，*的加熱概念和真空計(jì)保護(hù)延長了使用壽命
  • 的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是的等離子應(yīng)用，都無需*執(zhí)行重新校準(zhǔn)
  • 合規(guī)性與標(biāo)準(zhǔn)： CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應(yīng)用

  • 用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導(dǎo)體制造過程
  • 化學(xué)和腐蝕性高溫過程
  • 需要真空計(jì)保護(hù)的一般薄膜和真空過程

新聞

配備 EtherCAT 數(shù)字接口現(xiàn)在可用！

零件號



規(guī)格

類型1000 ... 500 Torr / mbar200 ... 1 Torr / mbar0.5 ... 0.1 Torr / mbar
精度 (1)% of reading0.20.20.4
溫度效應(yīng)
零點(diǎn)percent FS/°C0.00250.00250.005
滿量程% of reading / °C0.020.020.02
壓力，大kPa (absolute)400260130
分辨率percent FS0.0030.0030.003
低讀數(shù)percent FS0.010.010.01
建議的低讀數(shù)percent FS0.050.050.05
建議的低控制壓力percent FS0.50.50.5
溫度
運(yùn)行（周圍環(huán)境）（5）°C+10 … +50
在法蘭處烘烤°C≤110≤110≤110
貯存°C–20 … +65–40 … +65–40 … +65
電源電壓+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗
加熱時W≤15≤15≤15
運(yùn)行溫度W≤10≤10≤10
輸出信號（模擬）V (dc)0 … +100 … +100 … +10
反應(yīng)時間 (2)ms3030130 / 30 (3)
保護(hù)等級IP 40IP 40IP 40
標(biāo)準(zhǔn)
CE 合規(guī)EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認(rèn)證UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
SEMI 合規(guī) (5)SEMI S2
電氣連接D-sub, 15 pole, maleD-sub, 15 pole, maleD-sub, 15 pole, male
設(shè)定點(diǎn)
設(shè)定點(diǎn)數(shù)量2 (SP1,SP2)2 (SP1,SP2)2 (SP1,SP2)
繼電器觸點(diǎn)V (dc)A (dc)≤30≤30≤30
滯后percent FS111
診斷端口
協(xié)議RS232-CRS232-CRS232-C
讀數(shù)pressure, status, IDpressure, status, IDpressure, status, ID
設(shè)置set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
內(nèi)部容積
內(nèi)部容積 1/2'' 管cm3 (in.3)4.2 (0.26)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 DN 16 ISO KFcm3 (in.3)4.2 (0.26)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 DN 16 CF-Rcm3 (in.3)4.2 (0.26)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 8 VCR?cm3 (in.3)4.2 (0.26)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
重量
重量 1/2'' 管g837837837
重量 DN 16 ISO KFg852852852
重量 DN 16 CF-Rg875875875
重量 8 VCR?g897897897
EtherCAT
協(xié)議 EtherCATprotocol specialized for EtherCATprotocol specialized for EtherCATprotocol specialized for EtherCAT
通訊標(biāo)準(zhǔn)ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
節(jié)點(diǎn)地址Explicit Device IdentificationExplicit Device IdentificationExplicit Device Identification
物理層100BASE-Tx (IEEE 802.3)100BASE-Tx (IEEE 802.3)100BASE-Tx (IEEE 802.3)
數(shù)字功能讀取pressure, status, IDpressure, status, IDpressure, status, ID
數(shù)字功能設(shè)置set points, filter, zero adjust, reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
過程數(shù)據(jù)Fixed PDO mapping and configurable PDO mappingFixed PDO mapping and configurable PDO mappingFixed PDO mapping and configurable PDO mapping
(CoE)SDO requests, responses and informationSDO requests, responses and informationSDO requests, responses and information
EtherCAT 連接器RJ45, 8-pin (socket), IN and OUTRJ45, 8-pin (socket), IN and OUTRJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
電纜shielded Ethernet CAT5e or highershielded Ethernet CAT5e or highershielded Ethernet CAT5e or higher
電纜長度m (ft.)≤100 (330)≤100 (330)≤100 (330)
DeviceNet?
協(xié)議DeviceNet?, group 2 slave onlyDeviceNet?, group 2 slave onlyDeviceNet?, group 2 slave only
數(shù)據(jù)率kBaud125, 250, 500 by switch or network programmable125, 250, 500 by switch or network programmable125, 250, 500 by switch or network programmable
電纜長度 125 kbpsm (ft.)500 (1650)500 (1650)500 (1650)
電纜長度 250 kbpsm (ft.)250 (825)250 (825)250 (825)
電纜長度 500 kbpsm (ft.)100 (330)100 (330)100 (330)
MAC IDaddress 00 - 63 by switch or network programmableaddress 00 - 63 by switch or network programmableaddress 00 - 63 by switch or network programmable
數(shù)字功能讀取pressure, status, IDpressure, status, IDpressure, status, ID
數(shù)字功能設(shè)置set points, filter, zero adjust, reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
技術(shù)規(guī)格DeviceNet? "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)DeviceNet? "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)DeviceNet? "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)
設(shè)備類型''VG'' vacuum gauge''VG'' vacuum gauge''VG'' vacuum gauge
I / O 從屬傳訊polling onlypolling onlypolling only
真空計(jì) D 型連接器的電源電壓+14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W+14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W+14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W
為微型連接器上的 DeviceNet 收發(fā)器提供電壓24 V nom / <2 W (11 … 25 V)24 V nom / <2 W (11 … 25 V)24 V nom / <2 W (11 … 25 V)
DeviceNet? 連接器microstyle, 5 pin, malemicrostyle, 5 pin, malemicrostyle, 5 pin, male
CDG（模擬輸出、CDG 電源電壓、設(shè)定點(diǎn)）連接器D-sub, 15 pin, maleD-sub, 15 pin, maleD-sub, 15 pin, male
Profibus DP
波特率kBaudMbaud9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 5009.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 5009.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址address 00 - 125 by switch or network programmableaddress 00 - 125 by switch or network programmableaddress 00 - 125 by switch or network programmable
數(shù)字功能讀取pressure, status, IDpressure, status, IDpressure, status, ID
數(shù)字功能設(shè)置set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Profibus DP 連接器D-sub, 9 pin, femaleD-sub, 9 pin, femaleD-sub, 9 pin, female
CDG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn)）連接器D-sub, 15 pin, maleD-sub, 15 pin, maleD-sub, 15 pin, male

(1) 25 °C 環(huán)境溫度時非線性、滯后、可重復(fù)，運(yùn)行 2 小時后不產(chǎn)生溫度效應(yīng)。

(2) 增加 10 … 90 % FS

(3) 僅適用于壓力控制類型。

(4) 18% 鉻、10% 鎳、3% 鉬、69% 鐵

, 環(huán)境溫度 >40°C 可增大表面溫度高于 SEMI S2 的規(guī)定值

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