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深圳市萬德泉科技有限公司
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UL1000Fab干式氦氣檢漏儀

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更新時(shí)間：2023-02-11 07:45:04瀏覽次數(shù)：365次

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UL1000Fab干式氦氣檢漏儀干式氦氣檢漏儀 UL1000 FabULTRATEST™ 傳感器技術(shù) 穩(wěn)定性和靈敏度的新疆界，檢漏低達(dá) 10 -12 atm/css The INFICON UL1000 Fab 移動(dòng)式氦氣檢漏儀特別設(shè)計(jì)用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求。憑借環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級(jí)中的簡單使用性、檢漏效率性和移動(dòng)性，UL1000 Fab 在所有測量范圍中提供極快的泄漏率響應(yīng)。通過結(jié)合較高氦氣......

干式氦氣檢漏儀 UL1000 Fab

ULTRATEST™ 傳感器技術(shù)

穩(wěn)定性和靈敏度的新疆界，

檢漏低達(dá) 10 -12 atm/css

The INFICON UL1000 Fab 移動(dòng)式氦氣檢漏儀特別設(shè)計(jì)用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求。憑借環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級(jí)中的簡單使用性、檢漏效率性和移動(dòng)性，UL1000 Fab 在所有測量范圍中提供極快的泄漏率響應(yīng)。

通過結(jié)合較高氦氣抽氣能力和高進(jìn)氣口壓力的真空結(jié)構(gòu)，UL1000 Fab 提供的的泄漏率低達(dá) < 5x10-12 atm cc/s。專利軟件 I-CAL（智能泄漏率計(jì)算法）讓您忘記在低泄漏率范圍檢漏時(shí)較長反應(yīng)時(shí)間的煩惱，因?yàn)?UL1000 Fab 能夠?qū)λ行孤┞史秶龀隹焖夙憫?yīng)。

使用額外的 TC1000 測試盒配件，UL1000 Fab 氦氣檢漏儀為密封部件提供簡單、快速、精確的測試，如 IC 封裝、石英晶體和激光器二極管（根據(jù) MIL-STD 883，方法 1014）。


功能

  • 15 級(jí)的寬測量范圍
  • 較短的抽氣和響應(yīng)時(shí)間
  • 移動(dòng)式全金屬外殼，增加了便利性，具有可操作性
  • I-CAL 確保了在所有測量范圍中提供的泄漏響應(yīng)時(shí)間
  • 抑零功能和自動(dòng)積分時(shí)間校正，可提供快速、可靠的測試結(jié)果
  • 含堅(jiān)固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設(shè)計(jì)，提供較高氦氣抽氣能力和高壓縮比
  • 旋轉(zhuǎn)式顯示器和用戶界面允許簡單、輕松控制裝置以及與其進(jìn)行交互
  • 自保護(hù)功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
  • 自動(dòng)吹掃循環(huán)可確保清理并隨時(shí)可進(jìn)行測試
  • 通過電子郵件進(jìn)行軟件更新
  • 含兩個(gè)燈絲離子源（3 年質(zhì)保）的耐用質(zhì)譜系統(tǒng)確保了較長的運(yùn)行時(shí)間和較低的維護(hù)成本
  • 內(nèi)部校準(zhǔn)用的內(nèi)置測試漏孔確保了精確的測試結(jié)果

典型應(yīng)用

  • 對半導(dǎo)體加工工具執(zhí)行維護(hù)作業(yè)，無論是否具有自有泵支持
  • 需要較高抽氣能力、高靈敏度和清潔測試條件的應(yīng)用
  • 在現(xiàn)有工具中安裝前對部件執(zhí)行檢漏
  • 工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝
  • 內(nèi)置軟件菜單“自動(dòng)測漏"功能可使用 TC1000 測試盒執(zhí)行密封組件的自動(dòng)測試

零件號(hào)

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件號(hào) 明細(xì)
550-100A ULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug
550-101A ULTRATEST UL1000 Fab, 100/115 V, US plug

規(guī)格

類型 Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
氦氣（真空模式）可檢漏率 mbar?L/s <5E-12
氦氣（真空模式）可檢漏率 mbar?L/s <5E-12
氦氣（吸槍模式）可檢漏率 mbar?L/s 8E-8
GROSS 模式進(jìn)氣口壓力 mbar 15
FINE 模式進(jìn)氣口壓力 mbar 2
ULTRA 模式進(jìn)氣口壓力 mbar 0.4
抽真空期間的抽氣能力 m3/h 25 at 50 Hz
GROSS 模式氦氣抽氣能力 L/s max. 8
FINE 模式氦氣抽氣能力 L/s 7
ULTRA 模式氦氣抽氣能力 L/s 2.5
可檢測質(zhì)量數(shù) 2,3,4 amu
質(zhì)譜儀扇形場 180°
燈絲離子源銥/氧化釔涂層 2
內(nèi)置校準(zhǔn)漏孔 mbar?L/s e-7
測試端口 DN 25 KF 1
可調(diào)觸發(fā)器 2
接口 RS 232
圖形記錄器輸出 V 2 x10
輸入/輸出 PLC compatible
允許的環(huán)境溫度（操作過程中） °C +10.....+40
保護(hù)類型 IP 20
重量 kglb. 110
尺寸（長x寬x高） mmin. 1068x525x850
電源電壓 V (ac) 230 (+-10% )50Hz
電源電壓 V (ac) 230 (+-10% )50Hz
電源電壓 V (ac) 230 (+-10% )50Hz
功耗 VA 1100

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