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在需要無油泵時(shí)，XDS渦旋式干泵可出色地替代旋片泵。XDS渦旋式干泵的抽速為 5、10 和 35 m3/hr，特別是采用了創(chuàng)新的軸承護(hù)罩，將真空環(huán)境與各種潤滑劑隔離開，使之不僅干燥，而且保護(hù)軸承免受任何制程氣體的影響。蒸汽處理通過可調(diào)氣囊實(shí)現(xiàn)；這使該系列的泵能夠應(yīng)用于以前許多不能采用其他滾軸泵的應(yīng)用場(chǎng)合。

XDS系列渦旋式干泵具有創(chuàng)新的軸承護(hù)罩設(shè)計(jì)，可將真空環(huán)境與所有形式的潤滑劑隔離開來，使之不僅干燥，而且密封。該屏蔽還能保護(hù)軸承免受任何制程蒸汽的影響。
氣囊允許處理蒸汽，將應(yīng)用范圍拓展到以前許多不適用滾軸泵的情況。變頻器驅(qū)動(dòng)裝置控制著電機(jī)特性，可確保泵總是以轉(zhuǎn)速運(yùn)轉(zhuǎn)。

應(yīng)用

分析儀器
電子掃描顯微鏡 - SEM
射束線和高能物理
渦輪分子前級(jí)泵
超高速離心機(jī)
覆層
低溫學(xué)
脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹脂
蒸餾/萃取/過濾
冷凍干燥
熔爐
凝膠體干燥
實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)上真空
激光、氣體回收和再循環(huán)
氦檢漏儀
負(fù)載鎖和傳輸腔
稀有氣體再循環(huán)
稀有氣體回收
冷凍制造
研發(fā)
旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器
SEM/FIB（離子束維修）
溶劑回收
表面科學(xué)儀器

特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)

真空外殼中不需要使用潤滑劑，密封可保證的清潔和干燥真空，防止交叉污染
無大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運(yùn)行，使用時(shí)間更長
無需更換潤滑油，也就消除了處置被污染的潤滑油所需的費(fèi)用
簡單的單側(cè)滾軸設(shè)計(jì)意味著維護(hù)工作可在數(shù)分鐘內(nèi)完成，降低運(yùn)行成本，盡可能延長正常運(yùn)行時(shí)間
變換器驅(qū)動(dòng)可使抽速穩(wěn)定維持在 50/60Hz

技術(shù)數(shù)據(jù)

	XDS5	XDS10	XDS35i
排量
50Hz	5.7 m³h^-1 / 3.4 ft³min^-1	11.3 m³h^-1 / 6.7 ft³min^-1	43 m³h^-1/ 25 ft³min^-1
60Hz	6.7 m³h^-1 / 4.0 ft³min^-1	13.4 m³h^-1 / 7.9 ft³min^-1	43 m³h^-1/ 25 ft³min^-1
峰值抽速¹
50Hz	4.8 m³h^-1 / 2.8 ft³min^-1	9.3 m³h^-1 / 5.5 ft³min^-1	35 m³h-1/ 21 ft³min^-1
60 Hz	6.0 m³h^-1 / 3.5 ft³min^-1	11.1 m³h^-1 / 6.5 ft³min^-1	35 m³h-1/ 21 ft³min^-1
極限真空（總壓力）			1 x 10^-2mbar / 8 x 10^-3Torr
50Hz	7 x 10^-2 mbar/5.3 x 10^-2 Torr	7 x 10^-2 mbar/5.3 x 10^-2 Torr
60 Hz	6 x 10^-2 mbar / 4.5 x 10^-2 Torr	6 x 10^-2 mbar / 4.5 x 10^-2 Torr
水蒸汽的進(jìn)氣口壓力	50 mbar/38 Torr	35 mbar/23 Torr	35 mbar / 23 Torr
水蒸汽抽速– GB I	70 gh^-1	70 gh^-1	70 gh^-1
水蒸汽抽速– GB II	200 gh^-1	200 gh^-1	240 gh^-1
允許的出口壓力	1 bar 表壓/14 psig	1 bar 表壓/14 psig	0.2 bar gauge / 2.9 psig*
允許的進(jìn)氣口和氣鎮(zhèn)壓力	0.5 bar 表壓/7 psig	0.5 bar 表壓/7 psig	0.5 bar gauge / 7 psig
電機(jī)功率（1 相和3 相）	0.3kW	0.3kW	0.52 kW
電源連接器（1 相）	IEC EN60320 C13	IEC EN60320 C13	IEC EN60320 C19
標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)速度50/60 Hz	1500/1800 rpm	1500/1800 rpm	1750 rpm
重量	23 kg/51 lb	24.5 kg/54 lb	48 kg/105 lb
進(jìn)氣口法蘭	NW25	NW25	NW40
排氣口法蘭	NW25	NW25	NW25
噪音級(jí)別	50 Hz 時(shí)55 dBA	50 Hz 時(shí)55 dBA	57 dB(A)
振動(dòng)	<4.5 mms^-1 (rms)	<4.5 mms^-1 (rms)	<4.5mms ^-1(rms)
密封性（靜態(tài)）	<1 x 10^-6 mbar ls^-1	<1 x 10^-6 mbar ls^-1	<1 x 10^-6mbar ls^-1
工作溫度范圍	10 至40 °C/50 至104 °F	10 至40 °C/50 至104 °F	10 至40 °C/50 至104 °F