鋨/等離子體鍍膜機

概述

鋨等離子體鍍膜機是一種利用直流等離子體放電的負(fù)輝光相區(qū)對樣品進(jìn)行鍍膜的等離子體化學(xué)氣相沉積鍍膜機。主要用于掃描電鏡樣品上的導(dǎo)電薄膜涂層。

傳統(tǒng)的金屬鍍膜機，有各種各樣的所謂濺射鍍膜機，它們使用重金屬作為鍍膜材料，如金、鉑、鈀等，用這些方法，涂層本身的粒度問題是不可避免的。此外，如果在高倍鏡下進(jìn)行檢測，用這些方法涂覆的試樣無法避免由于暴露于強電子束而引起的充電、熱損傷和污染，從而導(dǎo)致掃描電鏡圖像的分辨率較低。而鋨/等離子體鍍膜機則避免了這些劣勢，無粒度問題，無熱損傷和污染，高分辨率。

應(yīng)用

1 鋨薄膜

?用于掃描電鏡樣品的導(dǎo)電薄膜

?防止掃描電鏡/透射電鏡樣品受到污染

?AFM樣品保護(hù)膜

?SPM試樣的導(dǎo)電保護(hù)膜

?SPM懸臂保護(hù)膜

2  等離子聚合膜（萘）

?光纖試樣保護(hù)膜

?防止嵌入樹脂的樣品剝落

?氟樹脂涂料（Os-PF混合涂料）

?TEM柵支撐膜

?透射電鏡超薄截面的防漂移

3 鋨超薄膜[可選]

?用FESEM觀察絕緣體的超微結(jié)構(gòu)

?通過ESCA/AES對絕緣體頂面進(jìn)行定量分析

?增強透射電鏡樣品的導(dǎo)電性

?AFM樣品的防靜電處理

?STM試樣的抗靜電處理

?蝕刻（僅混合氣體法）

4 親水處理[可選]

?氟樹脂表面鋨涂層的預(yù)親水處理等。

?防止嵌入樹脂的樣品剝落

?TEM支撐膜表面的親水化

?TEM網(wǎng)格的親水化

?超顯微切片機用金剛石刀的親水化

?改善潤濕性

5 深井電極[可選]

?樣品涂層高度

型號

OPC60A  鋨膜專用

涂層類型：Osmium

厚度：幾納米到幾百納米

OPC80T   鋨/等離子聚合膜

涂層類型：Osmium/PF（萘）

厚度：幾納米到幾百納米